公告日期：2025-04-26

中国国际金融股份有限公司

关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司

2024 年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见

中国国际金融股份有限公司（以下简称“中金公司”或“保荐机构”）作为沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”或“公司”）的保荐机构，根据《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》和《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 11 号——持续督导》等相关法律、法规和规范性文件的规定，对公司 2024 年度募集资金存放与使用情况进行了核查，具体情况如下：

一、募集资金基本情况

（一）实际募集资金的金额及到账情况

1、2019 年首次公开发行股票募集资金

经中国证券监督管理委员会《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2019〕2335 号）同意注册，公司向社会公开发行人民币普通股（A股）21,000,000 股，每股面值为人民币 1元，每股发行价为人民币 26.97 元，应募集资金总额为 566,370,000.00 元，根据有关规定扣除发行费用 60,625,896.22 元后，实际募集资金净额为 505,744,103.78 元。
以上募集资金已于 2019 年 12 月 10 日到位，募集资金到位情况已经容诚会计师
事务所（特殊普通合伙）审验并出具会验字[2019]8294 号《验资报告》。公司对募集资金采取了专户存储管理。

2、2021 年度向特定对象发行 A股股票募集资金

根据中国证券监督管理委员会出具的《关于同意沈阳芯源微电子设备股份
有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2022]498 号），公司于2022年 6 月向特定对象发行人民币普通股股票 8,045,699股，每股面值 1元，发行价格为人民币 124.29 元/股，募集资金总额为人民币 999,999,928.71 元，扣除不含税的发行费用人民币 9,915,093.67 元，实际募集资金净额为人民币
990,084,835.04 元。以上募集资金已于 2022 年 6 月 8 日到位，募集资金到位情
况 已 由 容 诚 会 计 师 事 务 所 （ 特 殊 普 通 合 伙 ） 审 验 并 出 具 容 诚 验 字
[2022]110Z0008号《验资报告》。公司对募集资金采取了专户存储管理。

（二）募集资金本报告期使用金额及期末余额情况

1、2019 年首次公开发行股票募集资金

2024 年度，公司 2019 年首次公开发行股票募集资金使用情况为：（1）归
还闲置募集资金暂时补充流动资金 54,000,000.00 元；（2）超募资金永久补充流动资金 38,300,000.00 元；（3）超募资金回购股份 10,009,160.24元。2024年度公司累计使用募集资金 48,309,160.24 元，支付银行手续费（不含增值税）415.00
元，募集资金专用账户利息收入为 13,796.15 元，募集资金专用账户 2024 年 12
月 31 日余额合计为 5,708,398.23元。具体明细如下：

单位：人民币元

项目 累计金额

募集资金净额 505,744,103.78

减：截至 2024 年 12月 31日直接对募集资金项目投入 387,316,021.56

其中： 高端晶圆处理设备产业化项目 248,133,621.56

高端晶圆处理设备研发中心项目 139,182,400.00

减：截至 2024 年 12月 31日使用超募资金永久补充流动资金 114,900,000.00

减：截至 2024 年 12月 31日使用闲置资金暂时补充流动资金 244,000,000.00

减：截至 2024 年 12月 31日节余募集资金……
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