公告日期：2026-10-31

证券代码：688012 证券简称：中微公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司

2026 年第三季度报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重 大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
重要内容提示：
公司董事会及董事、高级管理人员保证季度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。
公司负责人、主管会计工作负责人及会计机构负责人（会计主管人员）保证季度报告中财务信息的真实、准确、完整。
第三季度财务报表是否经审计
□是 √否

公司 2026 年前三季度（1-9 月）营业收入为 103.26 亿元，同比增长约 28.08%。

2026 年前三季度（1-9 月）归属于上市公司股东的净利润为 41.34 亿元，较去年同期增长约

241.31%。

根据市场需求，公司显著加大研发力度。2026 年前三季度公司研发支出 32.22 亿元，较去年同期
增长约 27.70%，研发支出占公司营业收入比例约为 31.20%，公司目前同时推进六大类、超 20 款
新设备的研发。

公司已开发出 54 种高端半导体设备，包括 26 种高能和低能等离子体刻蚀机设备、24 种各类薄膜
设备、化学机械抛光设备和部分量检测设备。刻蚀和薄膜设备的加工的精度已经达到了原子级水平。
截至 2026 年 9 月底，公司累计已有超过 9300 个反应台在国内外生产线实现量产。

一、主要财务数据
（一） 主要会计数据和财务指标

单位：元 币种：人民币

本报告期比 年初至报告期
项目 本报告期 上年同期增 年初至报告期末 末比上年同期
减变动幅度 增减变动幅度
(%) (%)

营业收入 3,634,861,207.18 17.18 10,326,148,534.85 28.08

利润总额 1,389,128,073.87 172.67 4,267,744,221.16 247.76

归属于上市公司股东的净 1,308,771,867.14 159.02 4,133,966,492.05 241.31
利润

归属于上市公司股东的扣 500,379,207.33 43.77 1,622,969,542.59 83.01
除非经常性损益的净利润

经营活动产生的现金流量 -790,035,326.69 不适用 -105,481,836.09 不适用
净额

基本每股收益（元/股） 2.01 148.15 6.34 226.80

稀释每股收益（元/股） 1.96 145.00 6.29 227.60

加权平均净资产收益率 4.85 增加 2.47 个 16.41 增加 10.54 个
（%） 百分点 百分点

研发投入合计 1,180,452,630.94 14.46 3,221,861,386.62 27.70

研发投入占营业收入的比 32.48 减少 0.77 个……
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