公告日期：2026-02-28

证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2026-014
中微半导体设备（上海）股份有限公司

2025 年度业绩快报公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）2025 年营业
收入约 123.85 亿元，较 2024 年增加约 33.19 亿元，同比增长约 36.62%。

根据市场需求，公司加大研发力度，新产品数量快速增加。2025 年全年
公司研发投入约 37.44 亿元，较 2024 年增长 12.91 亿元（增长约 52.65%），研
发投入占公司营业收入比例约为 30.23%。

公司预计 2025 年度实现归属于母公司所有者的净利润约为 21.11 亿元，
与上年同期（法定披露数据）相比，增加约 4.96 亿元，同比增加约 30.69%。
公司 2025 年度实现归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润
约为 15.50 亿元，与上年同期（法定披露数据）相比，增加约 1.62 亿元，同比增加约 11.64%。

公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件的超高深宽比刻蚀工艺实现了稳定可靠的大规模量产。其中 CCP 方面，公司用于关键刻蚀工艺的单反应台介质刻蚀产品保持高速增长，能够全面覆盖存储器刻蚀应用中各类超高深宽比需求；ICP 方面，适用于下一代逻辑和存储客户用 ICP 刻蚀设备和化学气相刻蚀设备开发取得了良好进展，加工的精度和重复性已达到单原子水平。到
2025 年底，公司累计已有超过 7,800 个反应台在国内外 170 余条客户芯片及 LED
生产线全面量产，其中刻蚀设备反应台全球累计出货超过 6,800 台。公司的 CDP
产品部门为先进存储器件和逻辑器件开发的 LPCVD, ALD 等十多款导体和介质薄膜设备已经顺利进入市场，并且设备性能完全达到国际领先水平，薄膜设备的覆盖率不断增加。公司 EPI 设备研发团队已经开发出具有自主知识产权及创新的平台，目前减压 EPI 设备已付运成熟制程客户进行量产验证，该种设备同时也付运至先进制程客户进行验证，部分先进工艺已进入量产验证阶段；新一代高选择比预清洁腔体满足先进工艺的需求，已在客户端进行量产验证；常压外延设备现已完成开发，进入工艺验证阶段。在泛半导体设备领域，公司正在开发更多化合物半导体外延设备，已陆续付运至客户端进行验证。

本公告所载2025年度主要财务数据为初步核算数据，未经会计师事务所审计，具体数据以公司2025年年度报告中披露的数据为准，提请投资者注意投资风险。
一、2025 年度主要财务数据和指标

单位：万元

项目 本报告期 上年同期 增减变动幅度

（％）

营业总收入 1,238,463.83 906,516.51 36.62%

营业利润 219,051.09 170,351.78 28.59%

利润总额 218,984.94 170,893.47 28.14%

归属于母公司所有者 211,147.30 161,567.57 30.69%

的净利润
归属于母公司所有者

的扣除非经常性损益 154,979.64 138,815.34 11.64%

的净利润

基本每股收益（元） 3.40 2.61 30.19%

加权平均净资产收益 9.98% 8.66% 增加 1.37 个百

率 分点

本报告期末 本报告期初 增减变动幅度

……
[点击查看PDF原文]

提示：本网不保证其真实性和客观性，一切有关该股的有效信息，以交易所的公告为准，敬请投资者注意风险。