中微公司刻蚀设备的核心部件——氧化钇（Y₂O₃）涂层直接受益于稀土管制政策。氧化
$中微公司(SH688012)$ 中微公司刻蚀设备的核心部件——氧化钇（Y₂O₃）涂层直接受益于稀土管制政策。氧化钇凭借超高化学稳定性（熔点2425℃）和抗等离子体腐蚀性，被广泛应用于刻蚀机腔体内衬、射频天线盖片等关键部位，可将部件寿命延长3-5倍。此次政策将氧化钇列入管制清单，切断了国际竞争对手（如应用材料、东京电子）的稳定供应。
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