新华财经上海5月28日电（记者高少华）中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）27日举行2024年度暨2025年第一季度业绩说明会。中微公司董事长、总经理尹志尧表示，中微公司坚持三维立体发展战略，目前已经覆盖约30%的集成电路高端设备市场，未来将与合作伙伴共同努力，争取覆盖近60%的高端设备市场。他认为，并购整合将是国产集成电路设备行业必然的发展趋势，中国的集成电路设备未来也一定会打开国际市场。

　　营收年均增速超过40% 研发投入占比高于科创板企业平均值

　　财报显示，中微公司2024年实现营收90.65亿元，同比增长44.7%；扣非净利润13.88亿元，同比增长16.5%。今年一季度，中微公司营收21.73亿元，同比上升35.4%；归母净利润3.13亿元，同比上升25.67%。

　　“2024年是中微公司20年发展历史上发展最快、成绩最大的一年。”尹志尧表示，2024年中国大陆以495亿美元规模继续成为全球最大的集成电路前道设备市场，占全球设备市场份额的42%。目前中微公司累积已有超过6000个反应台在客户137条芯片及LED生产线量产。最近14年，公司累计装机数年均增速高于37%，特别是最近五年增长更快。公司最近14年营业收入年均增长高于35%，最近几年年均增速超过40%。

　　2024年中微公司净利润增速低于营收增速，对此，尹志尧表示主要有两方面原因。一是近两年公司加大研发投入，2024年研发费用24.5亿元，占公司销售额的27%；二是公司近些年斥资20多亿元，投资了40多家公司，这些公司在横向上可以扩展公司业务。依靠这些大规模的投资，包括研发新产品和投资产业链，使公司能保持高速发展。

　　“中微公司持续大量投入研发，从上市前到现在，每年保持最低20%的研发投入，去年研发投入占比达到27%，今年一季度更是增至31.6%，远远高于科创板企业研发投入的平均值。这也是公司发展速度如此之快的原因。”尹志尧说。

　　据介绍，中微公司研发投入迅速增长的原因，一是经过20年发展，公司已拥有近400人的研发团队，前些年公司研发一款产品需要三到五年，现在只需要18个月。另外一个原因是为了更好地补齐国内集成电路设备领域的短板。

　　尹志尧表示，中微公司的总资产和净资产近年来逐年上升，2025年一季度末净资产已达201.4亿元，增长非常健康。公司2025年一季度末在手现金84.7亿元，银行借款余额仅为7.5亿元，保持低债运营。

　　三维立体发展战略扩展增长空间

　　全球芯片生产线资本投资变化率多年来一直呈现大起大落的周期性波动，这也迫使集成电路设备企业思考如何更好地应对市场周期波动。

　　“中微公司从成立第一天起就知道不能单打一，要把核心技术不断扩展到其他领域。我们的发展策略就是利用核心技术慢慢往外延伸。”尹志尧表示，中微公司实施三维立体发展战略，从而不断拓展企业增长空间。

　　第一维度是在集成电路设备领域。首先，中微公司自主研发了等离子体刻蚀设备，目前已稳居国产刻蚀设备龙头地位，2024年公司刻蚀设备贡献营收超过72亿元，同比增长54.7%。其次，不断开发多种薄膜设备，目前已经完成开发9种设备，今年还有7种设备要开发出来。如今，中微公司已有6种薄膜设备进入市场，部分设备取得了批量订单。另外在量检测设备领域，中微公司自七八年前也已开展布局。

　　目前，中微公司已经覆盖约30%的集成电路高端设备市场，其中，等离子体刻蚀机市场份额近20%，薄膜设备市场份额约5%，光学检测设备市场占比约5%。今后五到十年，中微公司目标是覆盖近60%的集成电路高端设备市场。

　　第二维度是泛半导体设备。据尹志尧介绍，泛半导体设备是我国的“长板”，比如平板显示设备、太阳能电池设备、发光二极管设备、微机电系统设备、功率器件设备、3D先进封装设备等。其中，在宽禁带化合物半导体外延设备市场，中微开发了多种金属有机化学气相沉积设备（MOCVD），目前市场销售形势良好。另外公司从两年前开始着手研发平板显示设备。

　　第三维度是外延扩展，培育产业链。截至目前，中微公司已经斥资20多亿元，投资了40家公司，其中，8家公司已经上市，包括中芯国际、天岳先进、拓荆科技、德龙激光、华虹公司等。最近两年，公司重点关注供应链方向，先后投资了苏州科玛、靖江先锋、成都超纯等，取得了良好的协同效应。目前，公司投资浮盈近59亿元。

　　行业整合将是必然趋势国产设备未来也将打开国际市场

　　国内集成电路设备行业经历近20年发展后，目前以北方华创、中微公司、盛美公司、拓荆科技等为首的行业龙头企业，业已形成了一定的市场格局。与此同时，国内也不断有新的资本和企业陆续进入集成电路设备领域。

　　对此，尹志尧向记者表示，未来10年中国半导体设备公司的主流趋势是“合在一起干”，最后可能有至少3家公司比较强，不太可能5家或者10家都非常强。“不否定任何地方都有异军突起的情况，也可能会有一些新的公司出现，他们的技术有着独到之处，我们也非常注重观察小公司的发展进程，希望与他们合作，能够进行合并等。”尹志尧说。

　　近年来，国产集成电路设备企业的主要精力是实现国产化，推进国产替代。随着企业技术和产品的不断成熟，国产设备出海未来也将成为重要发展方向。

　　针对国产设备出海，尹志尧表示，中微公司目前在海外已经拥有一定的市场。比如在美国，中微公司已经有几十个反应器在进行5纳米的生产。在当前形势下，国产集成电路设备企业要大面积打开国际市场，也将面临很大挑战，企业需要两条腿走路，一是推动直接销售，二是间接销售，比如在新加坡成立独立公司，进行技术授权等。

　　“我相信再过五到十年，中国企业做得好的一些国产设备，一定会打开国际市场。”尹志尧表示，国产设备出口关键是如何打开市场，目前来看一些国产设备和外国设备相比并没有太大的独特性，依然是在学习、复制外国设备。未来五到十年，中国的设备企业有可能做出一些美国企业做不出的设备，或者同样的设备中国企业比美国企业会做得更好。