光刻机物镜成本占比因光刻机类型及不同资料来源有所差异，一般来说，在DUV光刻机中
光刻机物镜成本占比因光刻机类型及不同资料来源有所差异，一般来说，在DUV光刻机中，物镜成本占光刻机总成本的比例约为30%左右，而在EUV光刻机中，这一比例可达30%-40%。据相关资料显示，ASML的EUV光刻机物镜系统占整体成本的比重约为30%左右，也有说法称EUV光刻机镜头占整机成本的40%。
这一波很明显永新被资金认可主要是大家都觉得它会是物镜突破点来了
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