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静电卡盘（Electrostatic Chuck, ESC）是通过静电场作用实现非接触式晶圆固定的半导体核心夹具。

根据2025年Global ESC市场报告，陶瓷基ESC以89.1%的全球市场份额占据绝对技术主导地位，其中氮化铝（AlN）陶瓷因优异的热学与电学性能成为主流材料。市场规模方面，2025年全球半导体静电卡盘市场价值达18.95亿美元，预计2032年将增长至32亿美元，2025-2032年复合增长率为7.6%。中国市场表现尤为突出，300毫米硅片ESC市场规模预计从2025年的35.5亿元扩大至2030年的58亿元，年均复合增长率达10.3%，主要受人工智能、汽车电子等新兴技术需求驱动。

全球半导体ESC市场呈现高度集中格局，AMAT、Lam Research、SHINKO等前三大厂商占据约85%份额，从国产化进展来看，目前静电卡盘被日韩美制造商高度垄断，属于“卡脖子”关键零部件，尤其在美国半导体制裁加剧的背景下，国产替代需求进一步增强。国产卡盘厂商当前以面向FAB提供维修翻新为主，但已有少数优秀企业实现全新静电卡盘制造技术的突破和商业化交付，并在大尺寸、先进制程以及原材料国产化方面持续投入，努力突破。国内突围企业包括：$珂玛科技(SZ301611)$ 珂玛科技、先导基电母公司先导科技集团、华卓精科

本帖图片源自：先导科技集团网站《先导元创半导体零部件产品手册》
静电卡盘ESC静电卡盘是一种利用静电吸附原理固定晶圆的装置，广泛应用于半导体制造、平板显示、LED 等领域。该静电卡盘采用高性能陶瓷材料，具有优异的导热性、绝缘性和耐腐蚀性。

万业元创(衢州)陶瓷科技有限公司半导体核心零部件及系统产业化项目项目ESC静电卡盘生产线

附：万业元创(衢州)陶瓷科技有限公司半导体核心零部件及系统产业化项目项目新增年产474800件陶瓷半导体零部件、575台科学仪器、5套光刻机E**光源的产能。
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