$先导基电(SH600641)$$北方华创(SZ002371)$$华海清科(SH688120)$1月17日，中核集团透露，由其旗下中国原子能科学研究院自主研制的我国首台串列型高能氢离子注入机(POWER-750H)近日成功出束，核心指标达到国际先进水平。该成果标志着我国已全面掌握串列型高能氢离子注入机的全链路研发技术，攻克了功率半导体制造链的关键环节。离子注入机与光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备并称为芯片制造"四大核心装备"。此次突破是核技术与半导体产业深度融合的重要成果，将有力提升我国在功率半导体等关键领域的自主保障能力，并为助力"双碳"目标、加快形成新质生产力提供技术支撑。一、先导基电 600641.SH 旗下凯世通是国产离子注入机龙头，产品覆盖大束流、高能等全系列。凯世通已构建完整的“通用平台+关键技术模块化+系列化产业化发展”技术体系，覆盖大束流、高能、中束流、氢离子及第三代半导体专用机型，并在CIS器件专用大束流机型上填补国内空白。 其设备已通过国内多家主流晶圆厂验证，应用于逻辑、存储、功率、CIS图像传感器等领域。订单与交付：自2020年首单以来，累计收获订单近60台，金额超14亿元，其中50%以上为重复订单，完成产线交付超40台。 客户覆盖：截至2025年上半年，存量客户已突破12家，包括中芯国际、华虹半导体等头部企业，且持续获得重复订单与新客户认可。二、北方华创 002371.SZ 国内半导体设备龙头，2025年宣布进军离子注入设备市场，发布首款机型Sirius MC 313。 公司持续布局新技术领域，在离子注入设备的束流控制、调束算法、剂量精准控制等关键技术方面取得多项突破，自主开发出具备能量精度高、剂量均匀性好、注入角度控制精度高等特性的高端离子注入设备。三、华海清科 688120.SH 旗下芯嵛半导体芯嵛半导体自主研发的12英寸大束流离子注入机已批量交付国内多家集成电路制造头部企业。