随着钨价飙升,六氟化钨(WF6)供应商已经向韩国半导体制造企业提出大幅涨价要求。
据透露,SK Specialties、Foosung、日本关东电化(Kanto Denka)等主要WF6生产企业,近期已向三星电子、SK海力士、东部高科、麦格纳等韩国半导体制造商表示,自明年起供应单价将上调70%-90%。

业内人士表示,钨价在短短五个月内上涨一倍,原料成本压力显著增加,这是涨价的主要原因。日本系气体企业还以汇率等因素为由,要求涨价约90%。”该人士还指出,“由于半导体厂商也清楚钨价暴涨的现状,因此大多觉得可能不得不接受涨价。
有分析师表示,WF6价格暴涨并非暂时性冲击,而是供应结构变化的直接反映。
作为氟与钨形成的无机化合物,WF6是密度最大的气体之一。半导体制造中,六氟化钨主要用于电子工业中金属钨化学气象积淀工业(CVD)工艺,其可在晶圆表面沉积钨金属,填补通道与孔洞,形成芯片内的导电连接层,是制作逻辑芯片、DRAM和3D NAND的关键材料。

据了解,六氟化钨产品主要用于半导体制造工艺中,这对它的纯度要求很高,工艺采用的原料氟气和钨粉分别选用为5N氟气和3N钨粉,工艺的效果和性能已经较为成熟。
在全球范围内,六氟化钨生产商主要是德国林德集团(Linde Group)、美国空气产品(Air Products)、中船重工718所派瑞气体、日本大阳日酸(Taiyo Nippon Sanso)、韩国SK Materials等。美国、德国、日本等国家六氟化钨制备及提纯起步较早,经验积累丰富,技术水平高,可以生产高纯度产品。我国六氟化钨行业起步晚,21世纪初期还不具备电子级六氟化钨规模化量产能力。
目前亚太是全球最大的六氟化钨市场,占有超过60%的市场份额,之后是欧洲和美国市场,二者共占有超过35%的份额。
随着我国电子产业迅速发展,我国市场对电子级六氟化钨需求快速增长,由于不具备自主供应能力,市场需求依靠进口,进口电子级六氟化钨价格高昂,不利于电子产业发展。

