存储靶材国产替代
,8月24日,贵研铂业在投资者互动平台上透露,公司日前半导体器材用镍铂靶材的制备关键技术及产业化项目结题完成,相关半导体器材镍铂靶材制备关键技术有重大突破。
资料显示,贵研铂业股份有限公司建成了年产1000片镍铂靶产品示范生产线,形成了长方状、碗状和圆形3种外形,5种不同Pt含量的镍铂靶材产品,技术性能指标及尺寸精度满足了用户使用要求。产品不但实现了替代进口,还出口至美国知名半导体公司。
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