即将招标采购的lam9400干法刻蚀机是一种用于半导体制造和微电子加工的高精度设
$*ST华微(SH600360)$ 即将招标采购的lam9400干法刻蚀机是一种用于半导体制造和微电子加工的高精度设备，主要用于通过物理或化学方法去除材料表面层，以实现微米或纳米级别的图案化。干法刻蚀与湿法刻蚀不同，它不依赖液体化学试剂，而是通过等离子体、反应气体或离子束等干式工艺进行材料去除，具有更高的精度和可控性，尤其适用于复杂结构和敏感材料的加工。
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