铜系靶、钴靶、钽靶、铝靶、钛靶等达国除顶尖水平
有研亿金德州生产基地副总经理万小勇介绍,靶材作为芯片的导线与屏障材料,从纯度到镀膜均匀性,每一项标准都严苛到纳米级别。有研亿金深耕靶材技术20余年,从早期的4—6英寸小尺寸靶材,逐步攻克12英寸大尺寸靶材技术,如今已实现铜系靶、钴靶、钽靶、铝靶、钛靶等百余款产品全覆盖,纯度提至99.99999%,达到国际顶尖水平。金属杂质含量控制在0.1ppm以内,相当于每吨材料中杂质含量不超过0.1克。
2025-10-28 08:27:23 作者更新以下内容
纳米级布线中,任何微小缺陷都可能导致芯片失效。”万小勇解释了靶材生产对精度的极致追求。为保障产品质量,企业引入自动化产线与定制化装备,对靶材生产全流程进行精密管控,严格控制材料产品缺陷,良品率超99%,产品质量满足全球尖端的3nm芯片需求。
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