极紫外和深紫外光刻机都使用了各类稀土元素
$有研新材(SH600206)$ 无论是极紫外光刻机（EUV）还是深紫外光刻机（DUV），其内部结构中的光源系统、精密运动控制平台、磁性部件以及光学模块，都大量使用了各类稀土元素。
例如钕、镝和铽等元素被广泛用于制造高性能永磁材料，而铒、镱和钬则常见于激光发生器及光学放大装置中，此外还包括多种特种光学玻璃和镀膜材料。
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