贵公司不断突破中高端产品技术瓶颈，推动国产替代进程。请问能否介绍一下贵公司在解决陶瓷加热器、静电卡盘和超高纯碳化硅套件等产业链“卡脖子”产品研发和量产以及订单情况？祝愿公司在国产替代的道路上高奏凯歌、一路长虹！
珂玛科技：
尊敬的投资者您好！公司陶瓷加热器已有多款型号装配于SACVD、PECVD、LPCVD和激光退火设备等，装配于刻蚀机的8寸型号静电卡盘也已经量产。公司将进一步完善陶瓷加热器、8寸静电卡盘产品，并重点研发突破12寸静电卡盘、超高纯碳化硅套件，加速推动市场化应用。感谢您的关注！
尊敬的投资者您好！公司陶瓷加热器已有多款型号装配于SACVD、PECVD、LPCVD和激光退火设备等，装配于刻蚀机的8寸型号静电卡盘也已经量产。公司将进一步完善陶瓷加热器、8寸静电卡盘产品，并重点研发突破12寸静电卡盘、超高纯碳化硅套件，加速推动市场化应用。感谢您的关注！
（来自 深交所互动易）
答复时间 2024-09-13 16:00:48
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