波长光电：
您好！根据公司内部的营业收入分类口径，光刻机相关业务属于公司的半导体及泛半导体领域收入类别，产品主要包括反射镜、聚焦镜、场镜等一些光学元器件以及平行光源和一些小型光学系统，应用场景有接近式掩膜光刻、直写光刻、封装测试、半导体量检测等。其中光学元器件主要应用于光刻系统的光源内部以及外部的光路控制、直写光刻的照明和成像系统和量检测，平行光源主要应用于接近式掩膜光刻，其他光学系统根据客户需求进行定制化开发。感谢您的关注！