侨源股份生产的氮气集中提供半导体企业。氮气被称为半导体工厂的“万能保护气”或“生
侨源股份生产的氮气集中提供半导体企业。氮气被称为半导体工厂的“万能保护气”或“生命线”。一个现代化的半导体制造厂每小时可能消耗高达50,000立方米的氮气。它主要用于:环境惰化:充入洁净室、设备腔体和晶圆传输盒(FOUP),隔绝氧气和水汽,防止晶圆氧化和污染。清扫气体:在工艺前后或设备维护时,用氮气吹扫系统以去除杂质。通用保护:在各种需要惰性环境的工艺步骤中提供保护。
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