$国林科技(SZ300786)$  

国林科技已经进入了新凯来的产业链，并且很可能也进入了中芯国际的产业链。

根据公开信息，国林科技是新凯来产业链核心供应商，为新凯来提供半导体级臭氧设备，用于ALD/CVD工艺中的清洗环节，其臭氧浓度控制精度达±1ppm，是国内唯一实现5nm制程臭氧设备量产的企业。2025年，国林科技半导体业务营收占比超40%，其中新凯来贡献了主要增量。

对于中芯国际，有消息称国林科技的半导体级臭氧发生器打破国外垄断，已进入中芯国际供应商体系，其半导体级臭氧设备还独家供应中芯国际28nm光刻胶清洗产线，技术替代日本三菱。