目前国林科技与新凯来在业务上有一定关联,国林科技是新凯来产业链核心供应商,为其提
$国林科技(SZ300786)$ 目前国林科技与新凯来在业务上有一定关联,国林科技是新凯来产业链核心供应商,为其提供半导体级臭氧设备,用于ALD/CVD工艺中的清洗环节。其臭氧设备采用VOS工艺,能满足光刻机和光刻胶设备清洗环节的高精度需求,还可支持多重曝光工艺中的清洗需求,也能为
新凯来的半导体设备提供超纯水及
清洗技术支持,确保设备生产过程
中的清洁度和稳定性。
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