光刻机迎来新利好，周一起飞
$国林科技(SZ300786)$ 光刻机迎来新利好，周一起飞
2025-03-09 16:56:35 作者更新以下内容
LDP比阿斯麦所采用的激光产生等离子体（LPP）技术效率要高得多。LDP将少量锡气化成两个电极之间的一团云雾，然后利用高电压将锡蒸气转化为等离子体。电子与锡离子碰撞，产生13.5纳米的极紫外光。而LPP需要高能激光和复杂的现场可编程门阵列（FPGA）实时控制电子设备。
LDP方法更简单、更小巧、更具成本效益，且能源效率更高。
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