光引发剂是光刻胶最关键的原料之一,占光刻胶总成本的40%~60%,其性能和成本直
$扬帆新材(SZ300637)$ 光引发剂是光刻胶最关键的原料之一,占光刻胶总成本的40%~60%,其性能和成本直接决定光刻胶的竞争力。光刻胶中的光引发剂主要可分为光致产酸剂(PAGs)、感光化合物(PAC)和自由基型光引发剂。在光刻过程中,光引发剂起着关键作用,例如光致产酸剂在曝光时会产生酸,催化后续的化学反应,如树脂交联或分解,从而改变光刻胶的溶解性,实现图案转移。
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