证券日报网讯 12月18日，赛微电子在互动平台回答投资者提问时表示，赛莱克斯北京已实现硅麦克风、BAW滤波器、微振镜、超高频器件的量产，正在小批量试产MEMS气体传感器、生物芯片、加速度计、惯性测量单元、MEMS-OCS等，同时对于压力、温湿度、硅光子、振荡器、3D硅电容、超声波换能器、喷墨打印头、磁传感器等MEMS芯片、器件及模块，正积极从工艺开发向验证、试产、量产阶段推进以及提升产能利用率和良率。