截至12月23日收盘，光刻机概念上涨2.11%，位居概念板块涨幅第1，板块内，28股上涨，美埃科技、同飞股份、中光防雷等20%涨停，珂玛科技、腾景科技、茂莱光学等涨幅居前，分别上涨9.70%、8.86%、6.09%。跌幅居前的有百傲化学、电科数字、中瓷电子等，分别下跌5.29%、2.54%、1.96%。

　　今日涨跌幅居前的概念板块

　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入1.61亿元，其中，20股获主力资金净流入，7股主力资金净流入超5000万元，净流入资金居首的是中光防雷，今日主力资金净流入3.68亿元，净流入资金居前的还有腾景科技、同飞股份、美埃科技等，主力资金分别净流入2.21亿元、1.48亿元、9119.47万元。

　　资金流入比率方面，中光防雷、美埃科技、同飞股份等流入比率居前，主力资金净流入率分别为31.95%、15.69%、14.88%。

　　光刻机概念资金流入榜