日子本州东部海域发生7.5级地震,震中靠近福岛县、宫城县——这正是全球光刻胶核心生产基地所在区域。此次地震对高端半导体光刻胶供应链造成直接冲击,短期内将加剧供应紧张,并进一步加速中国在该领域的国产替代进程。
一、光刻胶的种类与技术壁垒
光刻胶类型 波长(nm) 制程节点 应用领域 技术难度 日本主导企业
g-line / i-line 功率器件、LED、面板 ★(低) 东京应化、住友化学
KrF MCU、CIS、电源管理芯片 ★★★(中) TOK、信越化学
ArF干式 成熟逻辑/存储 ★★★★(高) JSR、TOK、信越
ArF浸没式 主流逻辑/DRAM ★★★★★(极高) JSR、TOK
EUV 先进逻辑(HPC/AI芯片) ★★★★★★(顶尖) JSR、信越、富士胶片
关键点:
主要影响 TOK郡山工厂(福岛),其是 KrF/ArF光刻胶核心产地;
EUV虽产能集中于千叶、新潟等地,未直接受损,但物流与原材料可能间接受扰。
二、光刻胶厂商受地震影响情况
公司 工厂位置 地震影响 产品侧重
东京应化(TOK) 福岛县郡山市 强震区, 已停机检查 KrF、ArF主力供应商
信越化学 新潟、福岛(辅助) 主基地未受损,但东北物流中断 ArF、EUV、高纯树脂
JSR 千叶县 距震中较远, 暂无停产报告 EUV全球龙头
富士胶片 神奈川 未受影响 ArF/EUV
结论:KrF/ArF光刻胶短期供应风险最高,直接影响成熟制程(28–90nm)芯片生产,而这类芯片占全球晶圆出货量超70%。
三、国产替代进展(2025年)
光刻胶类型 国产化率 主要突破 验证客户
g/i-line >50% 晶瑞电材、容大感光量产 中芯集成、华微电子
KrF ~20% 彤程新材、南大光电通过验证 中芯国际、长江存储
ArF干式 ~10% 南大光电、晶瑞电材小批量 中芯、华虹
ArF浸没式 <5% 南大光电、上海新阳研发中 实验室/小试
EUV ≈0% 北大彭海林团队基础研究突破 尚未进入产线
趋势:
成熟制程(KrF/ArF干式)国产替代已进入“放量导入”阶段;
总结:地震催化下的投资主线
短期:KrF/ArF光刻胶供应紧张 → 彤程新材、南大光电直接受益;
中期:晶圆厂加速验证 → 晶瑞电材、上海新阳有望放量;
长期:EUV和浸没式ArF仍是“卡脖子”环节 → 国家大基金三期支持方向;