$奥克股份(SZ300082)$ 奥克股份规划的八万吨乙二醇甲、乙、丁醚在电子光刻胶上的运用：
乙二醇甲醚在光刻胶中扮演着重要溶剂的角色。光刻胶主要由树脂、感光剂、溶剂和添加剂等组成，溶剂的作用是让光刻胶在被旋涂前保持液体状态，多数溶剂会在曝光前挥发，不会影响光刻胶的化学性质。乙二醇甲醚具有良好的溶解性和挥发性，能有效溶解光刻胶中的树脂、感光剂等成分，使光刻胶保持均匀的液态，便于通过旋涂等工艺在晶圆等基底上形成均匀的薄膜。它还能调节光刻胶的黏度，确保光刻胶在涂布过程中具有良好的流动性和涂布性。不过由于它具有一定毒性，可能会对环境和人体造成危害，在应用上有被其他更环保溶剂替代的趋势。
乙二醇乙醚在光刻胶领域较为重要，主要体现在以下方面：作为溶剂：光刻胶是对光敏感的混合液体，溶剂能让光刻胶在旋涂前保持液体状态，多数溶剂会在曝光前挥发，不影响光刻胶化学性质。乙二醇乙醚是一种多功能溶剂，兼具极性和非极性溶剂的特点，易溶于水，也能与乙醇、丙酮等混溶，可有效溶解和分散光刻胶中的树脂、感光剂等成分，调节光刻胶的黏度和流动性，使光刻胶均匀涂布在基底上，形成高质量的光刻胶薄膜。 用于电子清洗：可用于去除电路板上的光刻胶残留，在光刻工艺完成后，能帮助清洁基底表面，保证后续工艺的顺利进行。
乙二醇丁醚在光刻胶领域有重要地位，主要体现在以下方面：作为溶剂：它是一种兼具亲水性和亲油性的醚醇类溶剂，具有出色的溶解性，能有效溶解光刻胶中的树脂、颜料等成分，调节光刻胶的黏度和流动性，使光刻胶均匀涂布在晶圆等基底上，形成高质量的光刻胶薄膜。助力清洗：在电子厂中，乙二醇丁醚可作为清洗剂，有效去除电子元器件和电路板上残留的光刻胶等物质，且对电子元件无腐蚀性，保证后续工艺的顺利进行。用于光刻胶剥离液：是光刻胶剥离液的成分之一。如苏州博洋申请的AMOLED领域用水性光刻胶剥离液专利中，就包含25 - 30%的二乙二醇丁醚，有助于解决光刻胶残留问题。
