机器人：
您好，公司在半导体装备业务领域布局研发较早，技术积累较为深厚，目前，如依托国家科技重大专项等，攻克无碰撞路径规划、系统稳定性分析评价、AWC精度优化等关键技术，构建了具有自主知识产权的技术闭环体系；如研发的双臂真空机械手、多关节真空机械手、大行程高精度 EFEM 等国产真空机械手系列产品及晶圆自动化传输设备，已实现规模化量产，稳步提升技术等核心竞争能力。感谢关注。