人民财讯10月5日电，沈阳新松机器人自动化股份有限公司已拥有在真空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产品的完全自主知识产权，自主攻克的新一代真空机械手技术，性能对标国外先进产品，技术指标从比肩国际同类产品到实现部分指标的成功超越，能够为世界各地的半导体设备供应商提供高效和可靠的自动化解决方案。

　　公司为独立发展半导体装备业务，于2023年成立了沈阳新松半导体设备有限公司（简称“新松半导体公司”），新松半导体公司打造了拥有完全自主知识产权的自动化核心系列产品，产品包括大气机械手、真空机械手系列、EFEM、真空传输平台，可广泛服务于硅片生产、晶圆加工、先进封装及封装测试等半导体制造全产业链，为客户产业链及供应链安全的稳定提供多元保障。

　　目前：（1）两轴、三轴真空直驱机械手产品全面导入终端FAB厂，已迈入先进制程产线示范应用阶段；四轴真空直驱机械手已完成自主研发。（2）真空传输平台系列产品，包括真空直驱机械手、真空装载机（VPH）、真空预对准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂应用。（3）大气类产品方面，目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产应用。（4）零部件方面，集成产品包括立式炉，以及大气aligner、LOADPORT所组成的EFEM产品等已开始模块化及标准化定型，将逐渐实现由核心零部件到集成产品的标准化。