机器人：
您好，目前公司半导体装备产业化应用已初具规模，产品包括大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台，主要应用于刻蚀、薄膜、离子注入等工艺环节及领域，广泛服务于硅片生产、晶圆加工、先进封装及封装测试等半导体制造全产业链，为客户产业链及供应链安全的稳定提供多元保障，品牌效应显现。具体详见公司定期报告。感谢关注。