ASML的EUV光刻机,其纳米级别位移控制平台需精确的时间和频率基准来保证动作准确性。原子钟输出的频率信号先通过锁相环等电路元件进行倍频、分频等处理,将其转换为适合光刻机控制系统使用的频率信号。这些处理后的信号会被传输到光刻机的各个关键部件,如激光发生系统、位移控制系统等,提供精确的时间参考,对激光发射、扫描和曝光等操作的精准控制,保证光刻精度。请问公司的原子钟是否可为国内的科研院所研发光刻机?
天奥电子:
您好,公司产品暂未涉及光刻机领域。谢谢!
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(来自 深交所互动易)
答复时间 2025-09-11 08:45:11
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