你好，公司参股11%的子公司柔创纳米已成功开发并实现销售的ALD包覆设备，实现了我国在该领域的突破，是继美国之后世界第二家实现该技术产业化的国家。根据其子公司武汉柔电官网，目前其ALD设备主要应用在锂离子电池负极材料或者隔膜材料的改性上，未来该产品是否会寻求在半导体制程方面突破？
洁美科技：
柔创纳米现阶段仍然以ALD在硅碳负极和固态电池材料领域为突破口，未来将会围绕选择性原子层沉积与刻蚀技术与装备进行开发，有望应用在半导体方面。
柔创纳米现阶段仍然以ALD在硅碳负极和固态电池材料领域为突破口，未来将会围绕选择性原子层沉积与刻蚀技术与装备进行开发，有望应用在半导体方面。
（来自 深交所互动易）
答复时间 2025-05-06 11:30:11
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