光刻气是否是光刻机光源关键耗材,是否与流片环节有很强的绑定?
凯美特气:
尊敬的投资者,您好!电子特气被广泛应用于清洗、光刻、刻蚀、掺杂、外延沉积等半导体工艺制程中,电子特气的纯度对半导体及相关电子产品的生产至关重要,水汽、氧等杂质组分易使半导体表面生成氧化膜,影响电子器件的使用寿命,电子特气的质量决定了产品的性能、集成度、成品率,因此电子特气对生产环境和技术的要求都很苛刻,技术附加值较高,是半导体产业的“血液”,感谢您的提问,谢谢!
尊敬的投资者,您好!电子特气被广泛应用于清洗、光刻、刻蚀、掺杂、外延沉积等半导体工艺制程中,电子特气的纯度对半导体及相关电子产品的生产至关重要,水汽、氧等杂质组分易使半导体表面生成氧化膜,影响电子器件的使用寿命,电子特气的质量决定了产品的性能、集成度、成品率,因此电子特气对生产环境和技术的要求都很苛刻,技术附加值较高,是半导体产业的“血液”,感谢您的提问,谢谢!
(来自 深交所互动易)
答复时间 2025-04-29 15:45:11
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