华软科技的光引发剂产品作为光刻胶基材已实现小批量订单交付并获客户认可，该产品在2
$华软科技(SZ002453)$ 华软科技的光引发剂产品作为光刻胶基材已实现小批量订单交付并获客户认可，该产品在2024年营收中占比2%。此外，其研发的适配28nm及以下制程光刻胶的高纯度酚醛树脂打破了日美垄断，还实现了ArF浸没式光刻胶实验室阶段90nm分辨率，193nm光刻胶的部分基材产品也已完成中试，未来计划在沧州基地量产光刻胶相关产品。
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