DUV，全称为深紫外光，这是一种特定的紫外线类型，其波长小于365纳米，特别是在工业应用中，常见的DUV激光波长有193纳米和248纳米。 这个波段的福晶科技有晶体，但是EUV，福晶存疑，不清楚上海光机所用福晶的ND-YAG晶体还是自研的，福晶的ND-YAG晶体优点是热稳定性优越，也许为了提高性能，在正式的机器钟还是用福晶的晶体。整个光刻系统，要用很多套不同波段的光源系统，福晶应该有所作为。