芯片制造过程中用到的气体种类繁多，主要包括电子特种气体和电子大宗气体。电子特种气
$东方智造(SZ002175)$ 芯片制造过程中用到的气体种类繁多，主要包括电子特种气体和电子大宗气体。电子特种气体如氙气、氪气等，用于雕刻电路、清洗、外延沉积、氧化成膜、光刻刻蚀、掺杂等工艺流程，对芯片制造的精细化和稳定起着关键作用。电子大宗气体如氮气、氧气、氢气等，用于清洗、吹扫、化学气相沉积等步骤，确保芯片制造环境的纯净和稳定。这些气体在芯片制造中不可或缺，对芯片质量和性能有着重要影响。
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