国内企业如三祥新材已实现高纯纳米氧化锆粉体的量产，其产品应用于研磨介质和陶瓷基板
国内企业如三祥新材已实现高纯纳米氧化锆粉体的量产，其产品应用于研磨介质和陶瓷基板。然而，在高端光刻机反射镜基板等核心领域，国产氧化锆材料的加工精度（如表面粗糙度控制）仍落后于国际水平。例如，国外反射镜基板的面形精度可达10 nm以下，而国内同类产品目前约为30 nm。
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