截至1月16日收盘，光刻机概念上涨3.28%，位居概念板块涨幅第5，板块内，41股上涨，美埃科技20%涨停，*ST和科涨停，华辰装备、富创精密、中润光学等涨幅居前，分别上涨9.63%、9.39%、8.61%。跌幅居前的有电科数字、赛微电子、蓝英装备等，分别下跌2.33%、2.09%、2.02%。

　　今日涨跌幅居前的概念板块

　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入9.49亿元，其中，30股获主力资金净流入，7股主力资金净流入超亿元，净流入资金居首的是大族激光，今日主力资金净流入1.90亿元，净流入资金居前的还有晶方科技、腾景科技、新莱应材等，主力资金分别净流入1.87亿元、1.70亿元、1.58亿元。

　　资金流入比率方面，*ST和科、美埃科技、洪田股份等流入比率居前，主力资金净流入率分别为95.45%、15.68%、11.16%。（数据宝）

　　光刻机概念资金流入榜