大族激光最先进的光刻机是其处于客户测试与工艺优化阶段的步进式光刻机。大族激光的接
大族激光最先进的光刻机是其处于客户测试与工艺优化阶段的步进式光刻机。
大族激光的接近式光刻机已实现量产，分辨率为3-5μm，主要应用于分立器件、LED等中低精度领域。而步进式光刻机虽然尚未大规模销售，但技术路径已明确面向分立器件和泛半导体领域，其在精度和功能上相对接近式光刻机更具优势，代表了大族激光在光刻机技术研发上的最新进展和更高水平。
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