电瓷因其硬度高、弹性模量高、耐磨性好、绝缘性好、耐腐蚀性好、膨胀性小等特点而被广
电瓷因其硬度高、弹性模量高、耐磨性好、绝缘性好、耐腐蚀性好、膨胀性小等特点而被广泛应用，适用于硅片抛光机、热处理设备（外延/氧化/扩散）、光刻机、沉积设备、半导体刻蚀设备、离子注入机等各种半导体设备的零部件。半导体陶瓷的主要类型包括氧化铝、氮化硅、氮化铝、氮化硼、碳化硅等。在半导体设备中，精密陶瓷约占总价值的16%
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