北京大学团队在国际上首次运用“冷冻电子断层扫描（cryo-ET）”技术，如同给液
北京大学团队在国际上首次运用“冷冻电子断层扫描（cryo-ET）”技术，如同给液相环境下的光刻胶分子拍摄了高清晰度的“3D动态电影”，从而在原位、近原子级尺度上，直接“看见”了之前无法观测的光刻胶分子结构、界面分布和缠结行为。这不仅仅是单一的工艺改进，而是一项具有颠覆性的基础研究方法创新，它将半导体制造中关键的液相过程从“黑匣子”变成了“透明盒子”。
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