半导体机器人（Semiconductor Wafer Transfer Robots），是半导体设备中的重要组成部分，负责在半导体芯片制造厂的洁净环境中精准地搬送和定位半导体晶圆。

　　半导体机器人通常应用在刻蚀、PVD、CVD、清洗、去胶等芯片加工工艺步骤中，是芯片制造领域中不可或缺的核心零部件之一。

　　之前，由于国内该行业起步晚、专业人才培养断档等原因，国内半导体机器人市场被国外厂商牢牢占据。

　　作为国内少数自主研发设计并生产半导体机器人的公司之一，中科芯微智能装备（沈阳）有限公司，以其自主研发设计生产的真空系列、大气系列半导体机器人逐步打破目前国内半导体机器人被国外厂商“卡脖子”僵局。

　　“产品好才是真的好，一切靠产品说话！”中科芯微智能装备（沈阳）有限公司副总经理荆晓南在描述企业被业界看好的根本所在时说到。

　　问：请简要介绍一下中科芯微智能装备（沈阳）有限公司的创立背景和发展历程。

　　答：中科芯微智能装备（沈阳）有限公司是素珀电子科技（上海）有限公司的全资子公司。母公司素珀电子科技（上海）有限公司2013年成立于上海。中科芯微智能装备（沈阳）有限公司成立于2020年，主要是做半导体机器人的新品业务。

　　上海母公司初创时是做半导体机器人维修的相关业务，至今维修业务也一直在进行，期间维修了多种国外品牌的半导体机器人，积攒了丰富经验及机器人核心关键技术。于是我们于2020年在沈阳选址建立半导体机器人研发生产基地，现在我们所处的沈阳公司做的都是新品业务。

　　我们在2020年注册成立中科芯微智能装备（沈阳）有限公司。2021年开始陆陆续续有订单，近5年来前后实现小批量、批量交付半导体机器人产品到半导体设备客户，部分产品也随着客户的设备在终端Fab厂投入使用。到2025年公司被国家大基金领投和行业龙头跟投，充分体现了行业内对公司及公司产品的认可，有了行业龙头的支持及背书，为我们带来了 “技术协同” 和 “市场联动” 的机会，在未来公司产品技术迭代、市场开拓将进入到一个崭新的局面，带动国产半导体机器人市占率进一步提高。

　　问：那当初为什么会选择将公司落址沈阳呢？

　　答：首先，沈阳本身有自动化、半导体相关人才优势。沈阳有沈阳自动化研究所以及众多高校，半导体行业在沈阳又有产业聚集效应，很适合我们这类半导体智能装备科技公司在此创业发展。

　　另一个原因就是对于刚起步的企业来说，资金也有限，那时候公司也没有融资。沈阳无论是人员的成本、场地的费用都相对较低，对于初创时的公司资金压力不是太大。

　　第三，因为我们公司董事长朱玉东先生本身就是沈阳人，虽然人在上海打拼20多年，但他一直心系家乡，时刻惦记着要为家乡发展尽自己的绵薄之力，回沈投资建厂也是这种情怀的充分体现。

　　问：中科芯微智能装备（沈阳）有限公司在国产半导体设备产业链中的核心定位是什么？

　　答：我们做半导体机器人，机器人卖给半导体设备厂商，设备厂商再把我们的机器人集成到他们的芯片生产设备里，整体提供给制作芯片的生产工厂。

　　在半导体机器人这个赛道上的国内企业有，但不多。如果能把半导体机器人全系列的真空类、大气类半导体机器人产品做全的公司，更是少之又少，中科芯微智能装备（沈阳）有限公司就是其中之一。

　　问：公司目前发展方向？

　　答：在产品上，我们公司对标布鲁克斯自动化公司（Brooks Automation）产品，要超越这个美国行业龙头，解决被“卡脖子”的隐患。

　　在生产投入上，公司将尽快建设未来新厂区。规划建设多条自动化智能生产线，把生产效率进一步提高，来实现未来的产能释放。

　　问：公司的核心管理团队和专业设计研发团队的构成情况如何？

　　答：目前公司共有300多名员工，核心管理团队成员40余人。截止到目前，公司研发设计人员近百人，加上生产技术等相关技术岗位员工，我们技术相关的人员将近公司员工总数的50%。

　　问：公司目前共有多少项技术专利？

　　答：目前公司专利上百件。

　　问：公司如何确保专利技术创新的持续性和领先性？

　　答：我们现在的研发持续性得益于客户不断提出来的实实在在应用需求。行业客户提出的需求再结合我们自身的专业经验积累，可以确保我们再技术创新上持续输出。产品研发部门与市场部门会定期组织会议，将市场需求与专利申报规划相融合，从而确保专利申请不仅保护技术，同时也支撑公司的市场目标。另外公司会进一步加大研发的投入，培养引进技术人才，建立创新奖励体制，将创新理念融入公司文化，将创新转化为我们公司的组织习惯，企业时刻不忘持续将产品迭代升级，实现产品功能提升、成本降低，始终保证产品在业内的领先性。

　　问：目前公司研发及生产的产品种类有多少？

　　答：目前公司研发及生产的产品已到达四十多个品类，超百种型号。我们大部分新品推出都有对应的订单，结合客户实际需求研发生产出来的产品才有意义。

　　问：这些由中科芯微研发生产出的半导体机器人将会应用在哪些场景？

　　答：我们产品主要应用在半导体行业，通常在刻蚀、PVD、CVD、清洗、去胶等芯片制造工艺设备中都能看到我们产品在高效、精准、稳定地运行。

　　问：今年中科芯微半导体机器人研发生产基地项目开工建设，在项目竣工投产后，对区域发展将会有哪些具体贡献？

　　答：中科芯微半导体机器人研发生产基地项目竣工投产后，将直接推动辽宁省半导体产业链进一步升级，提升区域半导体产业竞争力，公司预计年产机器人3000台以上，产值将超10亿元，并带动相关配套企业发展，形成产业集群效应。

　　问：在您看来，目前半导体机器人的自主研发与产业化的行业发展趋势是怎样的？

　　答：近些年半导体机器人的自主研发与产业化正在快速发展，因为它是解决半导体制造“卡脖子”问题、提升产业链自主可控能力的关键环节之一，所以也得到国家足够的重视与政策上的支持。目前行业整体呈现出国内半导体机器人第一梯队企业技术突破正在加速，产品功能及稳定性进一步提升，国产替代机台数量迅速增加。

　　问：今年上半年，公司完成了新一轮融资，并获得国家大基金和行业龙头跟投，这对企业发展起到了怎样的作用？

　　答：国家大基金领投和行业龙头跟投，体现了行业内对公司及公司产品的认可，有了行业龙头的背书，给未来公司市场开拓带来更多的机会，公司未来3-5年的营收将大幅度提升，同时带动国产半导体机器人市占率进一步提高。

　　问：在融资后，公司的主要需求与任务是什么？

　　答：加大研发投入，把产品做好。一切都是看产品，好产品是企业的命脉。当中科芯微所有系列类型的半导体机器人都能比肩、超越国外机器人龙头公司同类产品时，公司不腾飞都难。

　　问：您在机器人及智能装备领域从业20年，您走到今天的感受是如何呢？

　　答：我感觉非常荣幸也非常幸运能够投身到这个领域，就是人逢其时，正好赶上行业发展的窗口期。国家在半导体制造领域遇到了“卡脖子”问题，就需要国内有企业能够站出来解决这些问题，提升国内半导体产业链自主可控能力。“卡脖子”问题被解决的同时企业自身发展也迎来了新机遇，这种责任与挑战对中科芯微人来说都是责无旁贷的！