截至8月20日收盘，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨3.89%，成分股上海合晶上涨12.42%，新益昌上涨9.32%，中科飞测上涨7.78%，华海诚科，富创精密等个股跟涨。科创半导体ETF（588170）上涨3.99%。

　　值得关注的是，科创半导体ETF（588170）日K线呈现阳包阴，形态积极。同时，尾盘持续溢价交易，资金或持续看好该方向。

　　从大市资金来看，截至收盘，主力资金加仓半导体（申万二级）达到95亿元，位列申万二级行业第一。

　　公开信息显示，科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。