阿为特是国内少数掌握纳米级精密机械加工技术的企业，其核心产品真空腔体直接应用于光刻机关键系统。通过自主研发的单晶金刚石刀具加工工艺，公司实现了真空腔体表面粗糙度≤0.05μm、平面度≤1μm 的行业顶尖水平，精度较传统工艺提升 3 倍。这一技术突破使其成为上海微电子（SSA）的核心供应商，并通过 Anteryon 间接进入 ASML 供应链，为 EUV 光刻机的光学测量系统提供关键部件。