《科创板日报》8月31日讯（记者陈俊清）截至目前，科创板半导体设备行业公司均已披露2025年半年度报告。
据《科创板日报》记者统计，科创板共有13家半导体设备企业，其业务范围涵盖刻蚀设备、薄膜沉积、测试设备、清洗设备等细分领域。
具体来看，12家科创板半导体设备企业在2025年上半年实现了营收正增长，其中2家增速超五成、5家增速超四成；有8家企业归母净利润为正且实现同比增长，2家增速超七成。
12家科创板半导体设备公司营收正增长
从营收维度来看，2025年上半年，科创板13家半导体设备企业合计营收超201亿元，同比增长中位数约31%，其营收增幅排为：拓荆科技、中科飞测、京仪装备、中微公司、华峰测控、盛美上海、华海清科、耐科装备、先锋精科、屹唐股份、富创精密、芯源微。与此同时，仅晶升股份2025年上半年营收负增长。
新型半导体设备的推出与新产线的规模量产，成为支撑科创板半导体设备公司实现收入增长的重要因素。
从细分领域来看，薄膜沉积、量检测设备相关公司营收延续高增长态势。拓荆科技作为今年上半年营收增幅最高的科创板半导体设备企业，期内实现营业收入19.54亿元，同比增长54.25%。
拓荆科技在半年报中表示，其先进制程的验证机台已顺利通过客户认证，逐步进入规模化量产阶段。基于新型设备平台（PF-300TPlus和PF-300M）和新型反应腔（pX和Supra-D）的PECVD Stack（ONO 叠层）、ACHM及PECVDBianca等先进工艺设备，陆续通过客户验收，量产规模不断增加，ALD设备持续扩大量产规模，业务增长强劲。
量检测设备领域，中科飞测上半年营收增幅同样超过五成，为7.02亿元，同比增长51.39%。该公司表示，受益于公司核心技术的不断突破和产品种类的日趋丰富，以及客户群体和客户订单持续增长，推动了公司经营业绩增长。
半年报显示，中科飞测明暗场设备较早地进入到了国内多家头部客户产线上进行工艺开发与应用验证工作，并实现小批量出货。
在刻蚀设备领域，中微公司作为国内半导体设备市值超千亿的龙头企业，营收规模也占据科创板半导体设备企业首位，该公司上半年实现营收49.61亿元，同比增长43.88%。其中，2025年上半年刻蚀设备销售约37.81亿元，同比增长约40.12%；LPCVD设备销售约1.99亿元，同比增长约608.19%。
中微公司表示，目前其在研项目涵盖六类设备，超二十款新设备的开发。公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场，公司有望在未来几年更大规模地推出新产品。
相对于以上营收实现正增长的半导体设备企业，晶升股份在营收端和利润端的压力进一步延续。今年上半年，该公司营业收入1.58亿元，同比减少20.29%；归母净利润-745万元，同比下降121.28%，主要系行业周期性波动、公司本期验收产品结构暂时性变动及主要验收的光伏产品毛利率下降所致。
当前，晶升股份也在有新增长潜力的协同业务领域积极探索。该公司正加速CVD设备、切割设备、减薄设备、抛光设备等新产品的推出与定制样机的批量化转换，同时推进特种材料、耗材等材料领域的业务进程。今年上半年，晶升股份研发费用为2056.39万元，占营业收入的12.98%，同比增加2个百分点。
浙商证券在近期研报中表示，关键半导体设备研发突破、送样验证，推动半导体设备板块业绩实现增长。国内半导体设备各细分环节正不断研发突破，快速积累自主IP，并逐步具备出海可能性。此外，随着国内供应链在零部件、材料领域的加强，机台稳定性一致性正快速提升，头部晶圆厂采购设备国产化有望提速。
头部企业贡献近七成利润 AI驱动产业复苏
与营收规模普遍提升的情况不同，上半年科创板半导体设备公司归母净利润呈现明显分化态势。共8家企业实现归母净利润正增长，5家负增长，其中3家下滑七成以上，2家处于亏损状态。
从净利润规模来看，处于半导体设备的头部企业中微公司、盛美上海、华海清科、屹唐股份4家贡献科创板半导体设备行业近七成净利润，上述企业均实现净利润正增长。
其中，中微公司归母净利润规模再次位居榜首，上半年归母净利润7.06亿元，同比增长36.62%。清洗设备作为半导体制造过程中使用最频繁的设备之一，在2025年上半年保持了稳健增长。盛美上海作为国内清洗设备的龙头企业，上半年以6.96亿元的归母净利润位居第二，同比增长56.99%。
盛美上海表示，业绩增长一方面系设备销售端持续放量，目前公司销售端产品增量仍以清洗设备为主，同时电镀设备的销量相较去年同期也有了显著提升；另一方面为需求端表现强劲，二季度逻辑芯片和存储芯片两大领域的客户需求均较为旺盛。
从增速方面来看，上半年归母净利润增幅最高的科创板半导体设备公司为华峰测控，该公司上半年归母净利润为1.96亿元，同比增长74.04%。
华峰测控将业绩增长归因于AI带动与汽车电子和消费电子等下游领域复苏。该公司表示，2025年上半年，全球半导体行业在人工智能（AI）浪潮的强力驱动下，延续了始于2024年的复苏态势，并步入新一轮的增长周期。下游应用中，除了AI领域，汽车电子和消费电子等市场也为本土半导体企业提供了广阔的发展空间，拉动了半导体设备的出货。
与此同时，华海清科、富创精密等多家半导体设备公司在半年报中表示AI技术落地应用为半导体设备持续高速增长提供强劲动能。
先锋精科、拓荆科技、芯源微、富创精密、晶升股份5家企业净利润同比负增长。值得注意的是，上述部分公司今年上半年研发投入增加。如：芯源微上半年在归母净利润同比减少79.09%的情况下，研发费用同比增长12.87%，达1.32亿元。
对于上半年归母净利润同比下降，拓荆科技持乐观态度。该公司表示，因2025年第一季度确认收入的新产品、新工艺的设备在客户验证过程成本较高，毛利率较低。随着公司新产品验证机台完成技术导入并实现量产突破和持续优化，2025年第二季度毛利率环比改善，呈现稳步回升态势。
有市场观点认为，本土晶圆厂在过去两年囤积了较多海外设备，阶段性地对半导体设备下单意愿有所减退会累及国产设备的下单节奏。市场担心全球成熟工艺处于供过于求的状态，国内扩产有可能陷入衰退。
对此，浙商证券发表观点称，其认为全球成熟工艺产能的供过于求状态仅仅是阶段性的，当前传统消费电子类产品处于缓慢复苏周期，并未进入创新拉动带来的放量成长阶段，若传统消电、AI终端放量成长，供需情况有望反转。
扩产与行业整合提速
当前，生成式AI支出爆发式增长，Gartner预测2025年全球生成式AI支出将同比增长76%达6440亿美元，其中80%集中AI服务器、智能手机和PC等硬件领域。市场普遍认为，基于对中国大陆本土自主可控的需求，尤其是对先进制程的需求，预计未来将持续推动中国内先进晶圆厂扩张和设备销售。
SEMI总裁兼首席执行官Ajit Manocha表示，“在2024年实现强劲增长之后，预计今年全球半导体制造设备销售额将再次扩大，并且在2026年创下新的纪录。尽管半导体行业始终在密切关注宏观经济所存在的不确定性，但人工智能推动下的芯片创新需求，正不断驱动着对产能扩张和领先生产的投资。”
面对需求端的不断增长，国产半导体设备企业也在积极进行扩产。中微公司计划通过有机生长和外延扩展，逐步覆盖半导体高端设备的50%到60%。拓荆科技“高端半导体设备产业化基地建设项目”建成后，将大幅提高公司薄膜沉积设备的产能，以支撑公司PECVD、SACVD、HDPCVD等高端半导体设备产品未来的产业化需求，目前已取得本项目的土地使用权证、用地规划许可证，并签订总包施工合同。
盛美上海在近期调研中表示，该公司临港厂区共有两个生产工厂，其中厂A已经投产，在其满产状态下，可达到100亿元的产能。目前临港厂区的工厂产能可以支持公司完成今年的全年业绩指引目标，即65亿元至71亿元。计划于明年下半年完成装修后开始投产，正式投产后可以实现200亿元的年产值。
政策方面，国家大基金三期重点支持设备和零部件加速国产化。此外，2024年以来，新“国九条”、“科创板八条”等政策发布，半导体领域产业并购持续升温，“并购六条”明确支持跨界并购、允许并购未盈利资产。
2025年上半年，北方华创完成收购芯源微17.9%的股份，成为芯源微第一大股东，国产半导体设备行业进入深度整合期。海光信息和中科曙光也于今年6月份双双公告披露换股吸收合并预案。公告显示，海光信息拟以0.5525:1的换股比例吸收合并中科曙光，并向特定投资者发行股份募集配套资金。
海光信息董事、总经理沙超群表示，本次合并将充分发挥中科曙光完整的系统能力和算力应用生态，实现云计算应用的产业链延展，形成一体化优势，侧重通过系统能力提升公司芯片的性能，解决功耗等影响因素对摩尔定律进一步突破的掣肘，实现公司的CPU和DCU在更加广泛的行业应用，对标国际行业巨头。
与此同时，中微公司也通过参设产业基金布局半导体产业链。2025年6月，中微公司全资子公司中微临港与关联方共同发起设立上海智微攀峰创业投资合伙企业，基金规模15亿元，中微临港认缴7.35亿元（占比 49%），聚焦半导体、泛半导体及战略新兴领域。
拓荆科技在近期披露的接待调研公告显示，公司近两年一直紧密围绕半导体产业链进行产业投资布局，开展了对恒运昌、新松半导体、珂玛科技、芯密科技、先锋精科等10余家公司的参股投资。同时，该公司也在关注合适的标的，在未来的发展规划中，不排除通过并购契合公司战略、能够产生协同效应的优质标的助力公司业务的深度拓展。
