公告日期：2025-07-17

证券代码：688037 证券简称：芯源微
沈阳芯源微电子设备股份有限公司投资者关系活动记录表
编号：2025-03

特定对象调研 分析师会议

投资者关系活动 媒体采访 业绩说明会

类别 新闻发布会 路演活动

现场参观 其他

国信证券股份有限公司

国投瑞银基金管理有限公司

光大保德信基金管理有限公司

汇丰晋信基金管理有限公司

瑞银资产管理（上海）有限公司

华富基金管理有限公司

参与单位名称 宏利基金管理有限公司

中邮创业基金管理股份有限公司

民生加银基金管理有限公司

上海泓澄股权投资基金管理有限公司

华商基金管理有限公司

国泰海通证券股份有限公司

中信证券股份有限公司

建安投资管理有限公司

时间 2025年7月10月-2025年7月16日

地点 公司会议室

上市公司接待人

执行委员会委员、副总裁、董事会秘书：刘书杰

员姓名

公司领导带领来访对象参观了公司展厅、净化间等，并对公
司基本情况进行了详细讲解，后在公司会议室与来访对象进
投资者关系活动 行了座谈。
主要内容介绍

Q1：公司 2025 年上半年整体签单及经营情况如何？

A1：2025 年上半年，公司签单情况良好，具体经营数据请以

公司后续公告为准。

Q2：公司全新一代涂胶显影机目前的研发进展情况如何？
A2：公司全新一代涂胶显影机采用六层对称架构，通过晶圆
并行传输模组提升调度效率，能够满足未来高端光刻机的产
能需求。目前该产品的研发进展顺利。

Q3：如何看待公司产品与外资同行厂商设备之间的差距？
A3：公司正视与外资同行业厂商在技术上存在的差距。一方
面，公司以客户需求为导向，积极在技术上寻求突破，持续
加大研发投入，不断提升产品竞争力，努力缩短与竞品之间
的差距；另一方面，公司持续通过降本增效等手段，提升产
品综合性价比，不断推进客户端导入及市占率提升。

Q4：公司当前的发展路径是什么？

A4：公司持续聚焦集成电路主战场，以前道涂胶显影、前道
清洗、后道先进封装为三大支柱业务，以客户为中心，坚持
研发服务于市场主基调，不断提升核心竞争力。同时，在维
护好现有客户群体的前提下，积极向中国台湾、韩国、东南
亚等地区拓展新的客户群体，进一步扩大业务规模，推动公
司实现持续稳健发展。

Q5：公司前道化学清洗机产品的进展情况？

A5：目前公司高温 SPM 机台已成功通过客户工艺验证，成功
打破国外垄断，获得国内客户的高度认可。上半年，公司前
道化学清洗产品签单实现快速增长，公司力争在前道化学清
洗赛道实现跨越式发展，为公司长期发展打造第二增长极。

附件清单 无

本次活动是否涉
及应当披露重大 不涉及

信……
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