证券代码：688012 证券简称：中微公司

中微半导体设备(上海)股份有限公司

投资者关系活动记录表

☐特定对象调研 分析师会议

☐媒体采访 ☐业绩说明会

投资者关系

活动类别 ☐新闻发布会 ☐路演活动

☐现场参观

☐其他（请文字说明其他活动内容）

时间 2025年08月

地点 线上电话会

董事长、总经理：尹志尧

上市公司 副总经理、财务负责人：陈伟文

接待人员

副总经理、董事会秘书：刘方

公司近况介绍：

中微公司聚焦高端半导体及泛半导体设备，坚持创新突破，2025 年上
半年业绩继续保持高速增长。

中微公司在过去 14 年保持营业收入年均增长大于 35%、在 2024 年比
2023 年年销售增长 44.7% 的基础上，2025 年上半年营业收入继续保持高
投资者关系活动 速增长，同比增长 43.9%，达到 49.61 亿元。其中，占公司收入 75% 以上
主要内容介绍 的主打设备——等离子体刻蚀设备，2025 年上半年销售 37.81 亿元，同比
增长约 40.1%；公司的新产品 LPCVD 和 ALD 导体化学沉积设备销售同比
增长 608.2%。公司针对先进逻辑和存储器件制造中多种关键刻蚀和薄膜工
艺实现大规模量产，高端产品新增付运量显著提升。

公司 2025 年上半年归母净利润 7.06 亿元，较去年同比增长 36.6%。由
于国际地缘政治的严峻形势，我们上半年持续大力投入新产品研发，研发
投入达到 14.92 亿元，同比增长约 53.70%，研发投入占公司营业收入比例约为 30.07%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平。我们开发设备一贯坚持 “技术的创新、产品的差异化和知识产权保护”，这使我们开发的新设备有极强的竞争力和迅速扩大市场份额的能力。

公司目前在研项目涵盖六大类设备、二十多款新设备的开发，包括新一代的 CCP 高能等离子体刻蚀设备、新一代的 ICP 低能等离子体刻蚀设备、金属刻蚀设备、晶圆边缘刻蚀设备、低压热化学沉积 LPCVD 及原子水平沉积 ALD 等多种导体薄膜设备、硅和锗硅外延 EPI 设备、新一代等离子体源的 PECVD 设备和电子束量检测等设备。在泛半导体微观制造领域，中微公司也在不断拓展产品布局，包括制造氮化镓基 Micro-LED 的 MOCVD设备，用于制造红黄光 LED 的 MOCVD 设备，制造碳化硅和氮化镓功率器
件的 MOCVD 设备，制造 MEMS 和先进封装 Chiplet 所需的新一代 TSV 深
硅刻蚀设备和 PVD 及 CVD 设备，大平板显示技术、智能玻璃和玻璃基板的大平板设备领域所需的薄膜设备及等离子体刻蚀设备等。
问答环节主要内容：
1、 请问如何看待中国半导体设备行业规模的成长趋势及可持续性？
答：根据 Techinsights 的数据，2025 年预计全球半导体设备行业规模约为1086 亿美元，其中中国半导体设备市场规模占比约 35%。回顾半导体设备发展历史，其市场具有波动较大，可预测性较差的特点。但可以预期的是在 5-10 年长周期视角，设备是半导体行业增速最快的领域之一。中国的半导体设备市场平均增长速度远高于国际整体增速，且已成为世界第一大的市场。伴随国产设备市占率的不断提升，中国半导体设备行业的增速将持续好于海外。我们对中国半导体设备行业及中微公司未来的发展拥有足够的信心。
2、 请问公司如何看待半导体设备行业竞争格局的变化？
答：我国的半导体设备行业起步于 2004 年前后，经过 20 余年的努力，已经对半导体设备品类形成了全面覆盖。设备企业做好产品并不断拓新的产品种类是自然且健康的竞争状态。中微公司始终抱着开放的心态，欢迎合规、良性的、有利于行业快速发展的竞争。中微公司未来将持续聚焦拥有自主知识产权的产品创新、产品差异化设计以及知识产权保护。同时，公
司也将不断提升运营效率，提高产品的综合竞争力，不断扩大产品覆盖度和市场占有率。
3、请问公司各类新产品的最新进展如何，包含薄膜沉积及量检测设备？答：薄膜沉积设备种类繁多。中微公司近两年新开发的 LPCVD 薄膜设备和 ALD 薄膜设备，目前已有多款新型设备产品进入市场并获得重复性订单。公司钨系列薄膜沉积产品可覆盖存储器件所有钨应用，2024 年得到约 4.76 亿元批量订单，并在 2025 年上半年继续保持高速增长。公司开发出应用于先进逻辑器件的金属栅系列产品：ALD 氮化钛，ALD 钛铝，
ALD 氮化钽产品，已完成多个先进逻辑客户设备验证，在满足先进逻辑客户性能需求的同时，设备的薄膜均一性，污染物控制和生产效率均达到世界先进水平。该系列设备已付运到先进逻辑客户端进行验证，核准推进顺利。中微公司计划在未来完成开发超 40 种集成电路的导体薄膜设备，能够覆盖全部类别的先进金属应用，也规划、开展了 PECVD 和 PVD 设备的研发，产品进展顺利。
国内的量检测设备，特别是高端量检测设备市场国产化率仍然很低，有很大发展空间，目前国产化率不足 5%。中微公司通过子公司超微布局电子束量检测设备，核心团队来自美国、日本、欧洲等全球知名量检测公司，首台针对关键尺寸量测设备的研发进展顺利。
4、 请问公司目前的产能规划以及人员的扩张计划如何？
答：公司近三年新建了南昌生产和研发基地、上海临港生产和研发基地、上海临港总部大楼暨研发中心，新增总面积将达 42 万平方米，较 2022 年新增 15 倍，同时规划在广州增城区及成都高新区建造新的生产基地。这些基地的建设和投入使用，显著提升了中微公司的产能，保证了公司过往高速的发展，同时也为未来新产品的大规模生产和研发提供了坚实保障。

截止 2025 年 6 月底，中微公司员工人数达到 2638 人，其中研发人员 1321
人，占比超过 50%；研发人员中硕士、博士研究生占比达到 55.49%。公司过往的人员增速年化约为 22%，今年预计也将保持较为稳定的人员增速。我们会根据公司经营状况和产品布局，适时调整人员的扩张节奏。

5、公司研发投入占收入比在二季度继续增加，请问研发投入什么时候进入相对稳定阶段？
答：中微公司现阶段需要投入更多研发资源以确保尽快达到国际一线水平。2025 年公司上半年研发投入为 14.92 亿元，同比增长 53.70%，研发总投入占营业收入比例达到 30.07%，远高于科创板均值和行业均值。回顾半导体设备行业发展规律，国际一线公司最终研发投入约占营收 10%-13%。未来随着公司产品布局的拓展和收入体量的提升，研发投入占比仍有较大下降空间，届时公司净利润水平将得到大幅提升。
6、请问公司在先进逻辑生产线的产品布局及进展如何？

答：在先进逻辑产线的刻蚀环节，CCP 及 ICP 的工艺步骤超过 120 道，目
前中微公司在先进逻辑产线的工艺覆盖已经达到 99%。同时，公司针对先进逻辑开发的 LPCVD、ALD 以及 EPI 等多款新设备也在国内先进逻辑产线开展验证，且多款设备已经通过验证。未来，伴随先进产线的持续扩
产，国产半导体设备市占率的持续提升，将持续为公司带来新的增长势
能。
7、内生增长对于公司发展非常重要，但外延并购的作用也不可忽视，请问公司未来在收、并购方面有哪些规划？
答：回顾国际半导体设备行业的发展历史，兼并收购是大公司诞生的必经之路。国内半导体设备行业尚处在前期发展阶段，但业界及政府已经开始关注如何聚集产业资源，以提升国内企业的国际竞争力。中微公司的战略是三维立体发展战略，第一维是聚焦集成电路设备，通过刻蚀、薄膜技术延伸到量检测领域。第二维是扩展在泛半导体设备领域的应用，第三维是探索其他新兴的非半导体领域。公司将沿着三维立体发展战略的脉络去展开外延并购。中微公司未来五年将全面覆盖刻蚀、薄膜及量检测业务，对行业内的外延收并购机会保持积极且开放的态度，推进公司实现高速、稳定、健康、安全发展。
8、请问如何看待公司毛利率的季度性波动，以及如何展望公司的毛利率？答：公司季度毛利率根据确认收入的产品结构、客户结构的差异存在季度波动，本季度客户确收了一批新设备，在新设备导入的阶段，公司物料、人工投入较高，造成本季度毛利率出现一定波动。我们预计这些都是一次性的影响，不影响设备本身中长期的毛利率。一方面，基于公司自身产品的竞

争力与技术的优势；另一方面，公司也在持续优化成本管理，因此我们有信
心将公司的中长期毛利率稳定在行业内较高的水平。

9、请问如何展望公司中长期的成长空间？

答：国内半导体产业目前处于快速发展的阶段，发展潜力巨大，在此过程
中，国产化设备的国产化率将不断提升。中长期，中微公司将充分受益于行
业的快速发展。同时，中微公司在不断扩大自身的产品覆盖，目前中微公司
的三十多种设备已经覆盖半导体高端设备的 25%到 30%，在今后五到十年，
公司计划通过有机声场和外延扩展，逐步覆盖半导体高端设备的 50%到
60%，成为一个设备的大型平台化公司，在规模上和竞争力上成为国际第一
梯队的微观加工设备公司。

10、请问目前公司上半年新签订单的增速及结构如何？

答：2025 年上半年新签订单同比增速达 40%。我们预计公司全年新签订单
仍然保持良好的增长。2025 年上半年的新签订单中，其中等离子体刻蚀设
备中 ICP 设备的占比略高于 CCP 设备的占比，客户结构中存储客户占比约
为 67%，整体先进制程占比超过 70%。

关于本次活动是
否涉及应披露重 本次活动不涉及未公开披露的重大信息。
大信息的说明
附件-参会机构列表：
Arena Holdings
Aspex Management (HK) Limited

BALYASNY ASSET MANAGEMENT (HONG KONG) LTD

BNP Paribas
CHINA MERCHANTS BANK
DYMON ASLACAPITAL (HK) LIMITED
Fountain Capital
HSZ投资
JK Capital Management
Lygh Capital
Torito Capital Limited
UG INVESTMENT ADVISERS LTD
爱建证券有限责任公司
安信基金管理有限责任公司
百川财富(北京)投资管理有限公司
百年保险资产管理有限责任公司
柏駿資本管理（香港）有限公司
宝利投资
宝盈基金管理有限公司
北京硅谷先锋投资基金管理有限公司

北京林楠投资有限公司
北京市星石投资管理有限公司
北京橡果资产管理有限公司
北京逸原达投资管理有限公司
北京禹田资本管理有限公司
博裕资本有限公司
财通证券股份有限公司
晨曦(深圳)私募证券投资基金管理有限公司
成都倍特私募基金管理有限公司
成都嘉瑞投资管理有限公司
楚恒资产
创金合信基金管理有限公司
大和日华(上海)企业咨询有限公司
道明资产管理公司
东方财富证券股份有限公司
东方证券股份有限公司
东兴证券股份有限公司
东亚前海证券有限责任公司
方正证券股份有限公司
丰琰投资管理(浙江自贸区)有限公司
富达利泰管理咨询（上海）有限公司
富敦投资管理(上海)有限公司
富瑞金融集團香港有限公司
冈三证券股份有限公司
高盛(亚洲)有限责任公司
高维私募基金管理（上海）有限公司
格林基金管理有限公司
耕霁（上海）投资管理有限公司
工银瑞信基金管理有限公司
光大证券股份有限公司
广东天运私募基金管理有限公司
广东谢诺辰阳私募证券投资管理有限公司
广发证券股份有限公司
广州汇川私募证券投资基金管理有限公司
国海证券股份有限公司
国联民生证券股份有限公司
国盛证券有限责任公司
国泰海通证券股份有限公司
国泰基金管理有限公司
国投证券股份有限公司
国信证券股份有限公司
国元证券股份有限公司
杭州汇升投资管理有限公司
杭州凯昇
杭州正鑫私募基金管理有限公司
合众资管
和谐健康保险股份有限公司
湖南万泰华瑞投资管理有限责任公司
花旗环球金融亚洲有限公司
华安证券股份有限公司
华创证券有限责任公司
华方私募基金管理（上海）有限公司

华金证券股份有限公司
华能贵诚信托有限公司
华杉瑞联基金管理有限公司
华泰保兴基金管理有限公司
华泰证券（上海）资产管理有限公司
华泰证券股份有限公司
华西银峰投资有限责任公司
华西证券股份有限公司
华夏基金管理有限公司
华源证券股份有限公司
汇百川基金管理有限公司
汇丰晋信基金管理有限公司
汇丰前海证券有限责任公司
汇华理财有限公司
汇添富基金管理股份有限公司
混沌天成国际资产管理有限公司
嘉实基金管理有限公司
建銀國際證券有限公司
江苏瑞华投资控股集团有限公司
交银国际
交銀國際控股有限公司
景顺长城基金管理有限公司
九泰基金管理有限公司
君和资本
骏利亨德森投资(新加坡)有限公司
开源证券股份有限公司
昆仑健康保险股份有限公司
乐盈（珠海）私募证券投资管理有限公司
路博迈基金管理（中国）有限公司
麥格理資本股份有限公司
民生证券股份有限公司
摩根大通证券(中国)有限公司
摩根士丹利基金管理（中国）有限公司
摩根士丹利证券（中国）有限公司
南京金友私募基金管理有限公司
南京证券股份有限公司
宁波三登投资管理合伙企业(有限合伙)
盘京投资
鹏华基金管理有限公司
平安证券股份有限公司
浦银安盛基金管理有限公司
普徠仕香港有限公司
前海再保险股份有限公司
青岛海月基金管理有限公司
融捷投资控股集团有限公司
瑞穗證券亞洲有限公司
瑞银证券有限责任公司
上海宝源胜知投资管理有限公司
上海伯兄资产管理中心（有限合伙）
上海敦颐资产管理有限公司
上海国际信托有限公司
上海国投先导私募基金管理有限公司
上海健顺投资管理有限公司

上海江天私募基金管理有限公司
上海九方云智能科技有限公司
上海君和立成投资管理中心（有限合伙）
上海君璞投资咨询有限公司
上海朗程投资管理有限公司
上海理臻投资管理有限公司
上海麦臻股权投资基金管理中心 (有限合伙)
上海明河投资管理有限公司
上海盘京投资管理中心（有限合伙）
上海钦沐资产管理合伙企业(有限合伙)
上海秋晟资产管理有限公司
上海申银万国证券研究所有限公司
上海深积资产管理有限公司
上海拓聚投资管理有限公司
上海天倚道投资管理有限公司
上海途灵资产管理有限公司
上海元昊投资管理有限公司
上海张江科技创业投资有限公司
上海证券有限责任公司
上海智微私募基金管理有限公司
上海中域资产管理中心(有限合伙)
上海重阳投资管理股份有限公司
申万菱信基金管理有限公司
深圳丞毅投资有限公司
深圳宏鼎财富管理有限公司
深圳前海道谊投资控股有限公司
深圳前海荣金资产管理有限公司
深圳世纪致远私募证券基金管理有限公司
深圳市博隆伟业私募证券投资基金管理有限公司
深圳市辰禾投资有限公司
深圳市前海久银投资基金管理有限公司
深圳市睿德信投资集团有限公司
深圳市尚诚资产管理有限责任公司
深圳市兴海荣投资有限公司
深圳市裕晋投资有限公司
盛博香港有限公司
盛钧私募基金管理(湖北)有限公司
施羅德投資管理(香港)有限公司
石创科技
拾贝投资管理(北京)有限公司
太平基金管理有限公司
太平洋证券股份有限公司
腾跃基金
天风(上海)证券资产管理有限公司
天风证券股份有限公司
天隼投资管理咨询(上海)有限公司
同系（北京）资本管理有限公司
雾凇资本
西部证券股份有限公司
西南证券股份有限公司
湘财证券股份有限公司
小悟空私募基金管理（海南）有限公司
信达澳亚基金管理有限公司

信达证券股份有限公司
星展唯高達香港有限公司
兴业证券有限公司
循远资产管理(上海)有限公司
野村东方国际证券有限公司
一村资本有限公司
银华基金管理股份有限公司
盈科汇金私募基金管理有限公司
永安财产保险股份有限公司
长江证券(上海)资产管理有限公司
长江证券股份有限公司
长盛基金管理有限公司
招商证券股份有限公司
浙江墨钜资产管理有限公司
浙江省国有资本运营有限公司
浙商证券股份有限公司
中电科投资控股有限公司
中富私募基金管理(南京)有限公司
中国工商银行股份有限公司
中国国际金融股份有限公司
中国平安保险(集团)股份有限公司
中国人民养老保险有限责任公司
中国银河证券股份有限公司
中荷人寿保险有限公司
中华联合保险集团股份有限公司
中欧基金
中泰证券股份有限公司
中投國際(香港)有限公司
中信保诚资产
中信建投证券股份有限公司
中信里昂证券有限公司
中信证券股份有限公司
中银国际证券股份有限公司
中银基金
中邮证券有限责任公司
中原证券股份有限公司
珠海唐丰投资管理有限公司
资衡(上海)商业管理有限公司