公告日期：2025-08-29

国泰海通证券股份有限公司

关于中微半导体设备（上海）股份有限公司

使用自有资金支付募投项目所需资金

并以募集资金等额置换的核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐机构”）作为中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）的持续督导机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》等有关法律法规和规范性文件的要求，对中微公司使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换事项进行了审慎核查，具体情况如下：

一、募集资金基本情况

（一）实际募集资金金额、资金到账情况

经上海证券交易所审核同意，并根据中国证券监督管理委员会于 2021 年 3
月 3 日出具证监许可[2021]645 号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》，公司向特定对象发行 80,229,335 股人
民币普通股 A 股股票。截至 2021 年 6 月 22 日止，公司完成了人民币普通股 A
股 80,229,335 股的发行，每股发行价格为人民币 102.29 元，股款以人民币缴足，合计人民币 820,665.87 万元，扣除承销及保荐费用共计人民币 8,206.66 万元（不含增值税）后，实际收到募集资金计人民币 812,459.21 万元，再扣除其他发行费用人民币合计 642.96 万元（不含增值税）后，实际募集资金净额为人民币
811,816.24 万元（以下简称“再融资募集资金”），上述资金于 2021 年 6 月 22 日
到位，业经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2021）第 0638 号验资报告。

根据《中微半导体设备（上海）股份有限公司 2020 年度向特定对象发行 A
股股票募集说明书》及《中微公司：关于调整向特定对象发行股票募投项目募集资金投入金额的公告》（公告编号：2021-047），本次募投项目情况如下：

项目名称 募集资金承诺投资总额（万 调整后投资总额（万

元） 元）

中微产业化基地建设项目 317,000.00 317,000.00

中微临港总部和研发中心项 375,000.00 375,000.00
目

科技储备资金 308,000.00 119,816.24

合计 1,000,000.00 811,816.24

二、使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的原因

公司募投项目在实施过程中，原则上应当以募集资金直接支付。公司在募投项目实施期间，存在使用自有资金支付涉及募投项目部分款项的主要原因为：根据中国人民银行《人民币银行结算账户管理办法》规定，员工薪酬的支付应通过公司基本存款账户办理，不能通过募集资金专户直接支付；同时根据征收机关要求，公司人员的社会保险、住房公积金等均由公司基本存款账户统一划转，无法通过多个募集资金专户直接支付募投项目涉及的上述费用；公司募投项目的支出涉及使用外汇结算部分购买设备等款项，相关款项无法通过募集资金专户支付，拟通过公司自有资金账户先行支付。

因此，为提高募投项目实施效率，公司及全资子公司作为募投项目实施主体，使用自有资金先行支付在实施募投项目过程中涉及募投项目部分款项，在定期对各募投项目发生的费用进行归集核算后，再从募集资金专户划转等额资金至公司相关存款账户，该部分等额置换资金视同募投项目使用资金。

三、使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的操作流程

1、公司财务部门根据募投项目的实施情况，对照募投项目支出内容，每月编制以自有资金支付募投项目款项的明细表，由相关负责人审批。

2、公司财务部门经公司付款流程审批通过后，定期将以自有资金先行支付的募投项目款项从募集资金账户中等额转入公司自有资金账户。

3、公司财务部门建立自有资金置换募集资金款项的台账，在台账中逐笔……
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