公告日期：2025-07-18

证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2025-047
中微半导体设备（上海）股份有限公司

2025 年半年度业绩预告的自愿性披露公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）在过去 14
年保持营业收入年均增长大于 35%的基础上， 2025 年第二季度营业收入继续保
持高速增长，预计营业收入约 27.87 亿元，同比增长约 51.26%，预计 2025 年半
年度营业收入约 49.61 亿元，同比增长约 43.88%。

公司预计 2025 年半年度实现归属于母公司所有者的净利润为 68,000 万
元到 73,000 万元，同比增加 31.61%到 41.28%。

根据市场及客户需求，目前公司在研项目涵盖六大类，超过二十款新设备的开发。公司新产品研发速度显著加快，未来公司有望更大规模地推出有竞争力的新设备，并顺利进入市场。2025 年上半年公司研发投入约 14.92 亿元，同比增加 5.21 亿元，同比增长约 53.70%，2025 年上半年研发投入占公司营业收入比例约为 30.07%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平（10%~15%）。
一、本期业绩预告情况

（一）业绩预告期间

2025 年 1 月 1 日至 2025 年 6 月 30 日。

（二）业绩预告情况

1．经财务部门初步测算，公司预计 2025 年半年度实现归属于母公司所有者
的净利润为 68,000 万元到 73,000 万元，同比增加 31.61%到 41.28%。

2．经财务部门初步测算，公司预计 2025 年半年度实现归属于母公司所有者
的扣除非经常性损益的净利润为 51,000 万元到 56,000 万元，同比增加 5.54%到
15.89%。

（三）本次业绩预告未经注册会计师审计。

二、上年同期业绩情况

2024 年上半年度，公司营业收入 344,771.28 万元，实现归属于母公司所有
者的净利润 51, 669.40 万元，归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润48, 323.02 万元。

三、本期业绩变化的主要原因

公司 2025 年上半年业绩预计较上年同期变化的主要原因如下：

1、2025 年上半年，公司营业收入约 49.61 亿元，同比增长约 43.88%。其中
刻蚀设备收入增长约 40.12%，达 37.81 亿元；LPCVD 薄膜设备收入增长约608.19%，达 1.99 亿元。公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，在先进逻辑器件和先进存储器件中多种关键刻蚀工艺实现大规模量产。

公司站在先进制程工艺发展的最前沿，坚持技术的创新、产品的差异化和知识产权保护的基本原则。坚持原创的设计，和国际领先的半导体客户公司同步前行。公司目前在研项目涵盖六类设备，超二十款新设备的开发。公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在只需两年或更短
时间就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场，公司有望在未来几年更大规模地推出新产品。

2、2025 年上半年，公司归母净利润为 68,000 万元到 73,000 万元，同比增
加 16,330.60 万元至 21,330.60 万元（增长约 31.61%至 41.28%）的主要原因：（1）
2025 年上半年营业收入增长 43.88%下，毛利较去年增长约 5.52 亿元；（2）2025
年上半年公司研发投入约 14.92 亿元，同比增加 5.21 亿元（增长约 53.70%），
2025 年上半年研发投入占公司营业收入比例约为 30.07%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平（10%~15%）。2025 年上半年研发费用 11.16 亿元，较去年增长约 5.49 亿元（增长约 96.65%）；（3）经评估师评估初步结果，公司以公允价值计量且其变动计入当期损益的对外股权投资于 2025 年上半年产生公允
价值变动收益和投资收益合计约 1.72 亿元，较 2024 年上半年亏损的 0.08 亿元增
加约 1.80 亿元。

3、2025 年上半年，公司扣非后归母净利润为 51,000 万元到 56,000 万元，
同比增加 2,676.98 万元至 7,676.98 万元（增长约 5.54%到 15.89%）的主要原因：
2025 年上半年营业收入增长 43.88%……
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