截至8月6日收盘，光刻机概念上涨2.64%，位居概念板块涨幅第9，板块内，32股上涨，洪田股份、海立股份等涨停，炬光科技、中船特气、新莱应材等涨幅居前，分别上涨16.21%、8.21%、7.78%。跌幅居前的有富创精密、百傲化学、芯碁微装等，分别下跌1.02%、1.00%、0.83%。

　　今日涨跌幅居前的概念板块

　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入9.01亿元，其中，20股获主力资金净流入，8股主力资金净流入超3000万元，净流入资金居首的是海立股份，今日主力资金净流入3.68亿元，净流入资金居前的还有晶方科技、旭光电子、新莱应材等，主力资金分别净流入2.62亿元、2.14亿元、1.48亿元。

　　资金流入比率方面，旭光电子、海立股份、晶方科技等流入比率居前，主力资金净流入率分别为20.73%、16.01%、11.40%。（数据宝）

　　光刻机概念资金流入榜