万字分析:下一代半导体封装革命—玻璃基板技术全面分析一、半导体封装材料的演进与玻
万字分析:下一代半导体封装革命—玻璃基板技术全面分析$英伟达(NASDAQ|NVDA)$
一、半导体封装材料的演进与玻璃基板的崛起
随着摩尔定律逐渐逼近物理极限,半导体行业正寻求通过先进封装技术突破性能瓶颈。在这一背景下,封装基板材料的选择变得尤为关键。传统的有机基板(如ABF)在面对高性能AI芯片时已显露出局限性,而玻璃基板凭借其优异的物理和电气特性,正成为下一代半导体封装的核心材料。
1.1 封装基板材料的发展历程
半导体封装基板材料经历了从陶瓷到有机再到硅基材料的演变过程。早期的陶瓷基板因其高机械强度和良好的热性能在高可靠性领域占据主导地位,但高昂的成本和加工难度限制了其广泛应用。随着工艺进步,有机基板凭借其低成本、易加工和良好的综合性能成为主流选择,目前在市场中占据最大份额。
然而,随着AI芯片算力需求呈指数级增长,传统有机基板已面临物理极限。据IEEE最新研究显示,H100等高端AI芯片在运行时的热变形量已超过有机基板0.8mm/m的形变承受阈值。这一挑战推动了业界对新型封装材料的探索,玻璃基板因此进入视野。
1.2 玻璃基板的技术优势
玻璃基板之所以能够在先进封装领域崭露头角,主要源于其多方面的技术优势:
卓越的平整度与稳定性:玻璃基板具有极低的翘曲特性,可达0.05mm/m,远低于有机基板的0.8mm/m。这种高平整度确保了光刻过程中的聚焦深度,有利于提高封装质量和良率。
优异的热性能:玻璃基板的热膨胀系数(CTE)稳定在3.2-3.5ppm/C,与硅芯片的CTE更为接近,显著降低了热应力问题。其热稳定性也极为出色,能够在-40C至200C的温度范围内保持稳定性能。
电气性能优势:玻璃基板的介电常数(Dk)约为5.2@1GHz,介电损耗(Df)约为0.006@1GHz,这使得信号传输更为高效,尤其是在高频应用中。其低介电损耗特性可降低信号延迟和能量损失,特别适合高性能计算和AI芯片。
高机械强度与可靠性:玻璃基板的抗弯强度可达100MPa以上,弹性模量约为70GPa,远高于有机基板。这种高强度使其能够承受更大的机械应力,提高了封装的长期可靠性。在温循测试中,玻璃基板的性能提升可达25%-40%,特别适合军工、航天等高要求场景。
更高的互连密度:玻璃基板可实现更薄的基板设计(如800μm厚度),支持更精细的线路加工。玻璃芯通孔之间的间隔能够小于100微米,这直接能让晶片之间的互连密度提升10倍。
热管理优势:虽然玻璃的导热系数(约1.2W/mK)高于有机基板(约0.7W/mK),但其热稳定性和低翘曲特性使其在热管理方面表现更为出色,能够有效应对AI芯片等高功耗器件的散热需求。
这些综合优势使玻璃基板成为2.5D/3D封装、Chiplet技术等先进封装领域的理想选择,为下一代半导体提供了性能突破的可能。
二、玻璃基板在先进封装中的应用场景与技术路线
玻璃基板在半导体封装领域的应用主要集中在几个关键技术方向,包括玻璃中介层(Glass Interposer)、面板级封装(FOPLP)和玻璃通孔(TGV)技术等。这些技术路线正快速发展,有望在未来几年内实现大规模商业化。
2.1 玻璃中介层:替代硅中介层的新选择
玻璃中介层是玻璃基板在先进封装中的一个重要应用方向。传统上,2.5D/3D封装中常使用硅中介层(Si-Interposer)来实现芯片间的互连,但硅中介层存在成本高、工艺复杂等问题。玻璃中介层以其独特优势,正成为替代硅中介层的有力竞争者。
技术特点:玻璃中介层采用玻璃基板作为核心材料,通过玻璃通孔(TGV)技术实现垂直互连。相比硅中介层,玻璃中介层具有更低的介电常数和介电损耗,能够提供更好的信号完整性和更低的功耗。其热膨胀系数与硅更匹配,可降低热应力,提高封装的可靠性。
应用场景:玻璃中介层主要应用于高性能计算、AI加速器和高带宽内存(HBM)等领域。例如,三星计划在2028年前将玻璃中介层应用于其先进半导体产品中,以"满足客户需求"。AMD也在评估玻璃基板样品,计划在2025-2026年将玻璃中介层技术引入其HPC产品,以增强竞争力。
技术进展:英特尔在2023年9月推出了业界首批用于下一代先进封装的玻璃基板,计划在2026年至2030年推出完整的玻璃基板解决方案。三星电机则计划在2025年开始向两至三家美国大型科技公司供应玻璃中介层样品,并在2027年实现规模化量产。
2.2 扇出型面板级封装(FOPLP)与玻璃基板
扇出型面板级封装(Fan-Out Panel Level Packaging, FOPLP)是另一个将玻璃基板作为核心材料的重要技术方向。与传统的晶圆级封装(WLP)相比,FOPLP在方形面板上进行封装,具有更高的生产效率和更低的成本。
技术特点:FOPLP技术通过玻璃基板的高平整度和低热膨胀系数,解决了传统有机基板在高密度封装中的翘曲问题,同时支持更高的互连密度和信号传输效率。玻璃基板的使用使得FOPLP能够实现更精细的线路加工,支持更小的线宽和间距。
应用场景:FOPLP技术主要应用于大尺寸芯片封装,如GPU、AI芯片和高性能处理器等。台积电已将玻璃基板视为延续先进封装技术优势的关键战略方向,计划于2025年为英伟达生产首批基于玻璃基板的芯片。
技术进展:台积电近年来在玻璃基板领域的布局加速推进,将其视为延续先进封装技术优势的关键战略方向。2024年9月,台积电宣布将大力开发扇出型面板级封装(FOPLP)技术,并明确将玻璃基板作为核心材料。根据规划,台积电将在2025年采用Chip-First方法,2026年过渡到更先进的RDL-First工艺,并计划于2027年量产复杂的TGV工艺。
2.3 玻璃通孔(TGV)技术与工艺挑战
玻璃通孔(Through Glass Via, TGV)技术是玻璃基板应用于先进封装的关键技术,直接影响着玻璃基板的性能和成本。
技术特点:TGV技术是指以硼硅玻璃、石英玻璃等为基材,通过通孔或盲孔成型、种子层溅射、电镀填充等工艺来实现3D互连的关键技术。与硅通孔(TSV)相比,TGV具有更低的介电损耗和更好的信号完整性,特别适合高频应用。
工艺挑战:尽管TGV技术早在10年前就已问世,但其速度未能满足量产需求,仅能达到每秒10~50个孔,使得玻璃基板技术至今尚未能起飞。目前,TGV加工成本较高,约为0.05美元/孔,需通过规模化生产降低至0.01美元/孔以下。此外,玻璃的脆性也增加了加工难度,如何在保证性能的同时提高良品率,是TGV技术面临的主要挑战。
技术突破:为克服这些挑战,业界正在积极探索新的加工技术。例如,日本电气硝子通过改良玻璃原料组合和生产工艺,使得其玻璃基板能够利用二氧化碳激光加工机进行微细孔洞钻孔,相比传统的蚀刻工艺大大简化了制程。三星则采用激光位移补偿算法,将通孔位置精度控制在±2μm以内,实现了大尺寸面板级TGV的突破。
三、主要厂商布局与产业化进程
全球半导体行业的主要厂商已纷纷布局玻璃基板技术,形成了以英特尔、台积电、三星为首的竞争格局。这些厂商的技术路线和产业化时间表各不相同,但都将玻璃基板视为下一代半导体封装的关键材料。
3.1 英特尔:玻璃基板技术的先行者
英特尔是最早布局玻璃基板技术的半导体巨头之一,其在该领域的研究已开展了十多年。
技术路线:英特尔的玻璃基板技术路线聚焦于玻璃芯(Glass Core)封装,通过实心玻璃芯取代传统层压板中的编织玻璃芯,显著提升了尺寸稳定性、通孔密度和信号传输速度。英特尔的玻璃基板技术核心优势在于其优异的热膨胀系数匹配性和平整度,能够将图案变形减少50%,同时支持更高温度下的稳定加工。
产业化进程:英特尔在2023年9月宣布推出业界首批用于下一代先进封装的玻璃基板,计划在2026年至2030年推出完整的玻璃基板解决方案。为支撑这一技术路线,英特尔在过去十年间已投入约10亿美元,在美国亚利桑那州建立了专门的玻璃基板研发线和供应链。
最新动态:据报道,英特尔正在调整其玻璃基板战略,计划停止自产玻璃基板,转而使用外部供应商提供的玻璃基板,以降低营运成本,并专注于CPU发展与晶圆制造等核心业务。这一转变可能为其他厂商提供了市场机会,如SKC的子公司Absolics有望从中受益。
3.2 台积电:面向英伟达需求的快速跟进
台积电作为全球最大的独立半导体代工厂,在玻璃基板领域的布局紧密围绕其先进封装技术路线展开。
技术路线:台积电聚焦玻璃芯扇出(Glass Core Fan-Out)和TGV工艺的研发。根据中国台湾玻璃基板供应链的规划,台积电的技术路线已明确:2025年采用Chip-First方法,2026年过渡到更先进的RDL-First工艺,并计划于2027年量产复杂的TGV工艺。此外,台积电还通过优化玻璃基板的深宽比设计(如2027年目标实现20:1的深宽比),进一步提升封装性能。
产业化进程:台积电计划于2025年为英伟达生产首批基于玻璃基板的芯片。IT之家援引消息源报道,台积电将会在2024年9月召开的半导体会议上,公布FOPLP封装技术细节,并公开玻璃基板尺寸规格。台积电还计划将玻璃基板尺寸从目前的300毫米增加到510毫米,2027年量产;600毫米版本也计划于2028年推出。
市场定位:台积电的玻璃基板战略主要服务于其代工客户,特别是英伟达等AI芯片巨头。在英伟达的不断催促下,台积电不仅加大了对FOPLP的投入,还重启了此前搁置的玻璃基板技术研发,以应对市场需求。
3.3 三星与韩国厂商:全面布局玻璃基板产业链
韩国厂商,特别是三星、SKC和LG Innotek,正积极布局玻璃基板技术,形成了完整的产业链生态。
三星的技术路线:三星采用FOPLP技术,使用510mm×515mm玻璃面板,通孔位置精度<±2μm(激光位移补偿算法),HBM4全面采用TGV技术,实现大尺寸面板级TGV突破。三星集团采取了集团化作战的策略,在2024年3月,三星电子已开始与三星电机和三星显示等主要电子关联公司联合研发玻璃基板。
产业化进程:三星电机于2024年6月12日宣布,其自主研发的玻璃基板技术已进入产业化倒计时阶段,计划在2027年实现规模化量产。按照规划,2024Q3将完成200mm晶圆试产,2025年转入300mm晶圆阶段。三星电子则计划在2028年将玻璃中介层应用于其先进半导体产品中。
SKC与Absolics:SKC的美国子公司Absolics正在推进玻璃基板计划,争取在2025年上半年试量产,今年底实现玻璃基板的商业化,为HPC相关封装公司、数据中心、AI等提供高性能、低功耗、高良率、低价格的下一代封装产品。Absolics计划在2025年底前完成量产准备工作,有望成为第一家将玻璃基板商业化的公司。
LG Innotek:LG Innotek正准备进入玻璃基板市场,在其龟尾工厂建设一条试验生产线,计划在2025年底前开始原型生产。该公司CEO Moon Hyuk-soo在2025年3月的例行股东大会上表示:"将把半导体基板和电子系统组件业务发展到第一"。
3.4 日本厂商:材料优势与技术积累
日本厂商凭借其在玻璃材料领域的深厚积累,在玻璃基板市场占据重要地位。
日本电气硝子(NEG):日本电气硝子正在加快研发用于高效能半导体封装的大型玻璃基板,并计划在2026年实现长宽510×510mm玻璃基板的样品出货。同时,公司还计划在2028年左右推出长宽600mm的玻璃基板,并预计在2028财年实现商业化销售。据公司官方数据,尺寸为515×510×t1.0mm的实验品已完成开发,预计将于2025年内提供样品。
Ibiden:作为全球最大的半导体基板厂商之一,Ibiden在2023–2027年资本支出计划中明确涵盖"glass core substrate"(玻璃核心基板)研发,预示着其将玻璃基板视为重要增长方向。针对AI Server市场,Ibiden正提升IC基板产能以支持英伟达供应链需求,未来玻璃基板量产机会正在酝酿之中。
旭硝子与康宁:虽然旭硝子未直接提及玻璃基板在半导体封装中的应用,但其在玻璃材料领域的技术积累使其成为潜在的重要参与者。康宁则在玻璃封装的三个关键制程(玻璃通孔、通孔填孔与高密度布线)都有深入研究,未来重点在于如何将这三个制程整合起来,提升良率并实现量产。
3.5 中国厂商:加速追赶的新兴力量
中国厂商在玻璃基板领域起步较晚,但已开始加速布局,有望在未来几年内实现突破。
京东方:2024年9月,中国面板大厂京东方成立中国大陆第一家从显示面板转向先进封装的业务部门,并正式发布并展出面向半导体封装的玻璃基面板级封装载板,该面板级载板面向AI芯片,计划2026年后启动量产。
沃格光电:沃格光电是光电玻璃精加工企业,拥有玻璃基板级封装载板技术。其玻璃基IC板运用TGV技术,应用于先进封装领域(2.5D/3D垂直封装)。
龙光天旭:山东龙光天旭太阳能有限公司参与起草的T/CSTM 01470—2025《芯片封装用玻璃基板》标准于2025年6月正式发布,这一标准的发布将为芯片封装用玻璃基板的生产、应用等环节提供明确规范,推动相关行业的健康、有序发展。
行业协作:2025年4月10日,《半导体封装用玻璃基板材料要求及测试方法》团体标准讨论会顺利召开,行业专家和参编单位代表聚焦标准草案的主要范围界定与大纲框架搭建展开积极研讨,力求形成一套统一、规范、实用的测试方法体系,为行业提供可靠的检测依据。
四、玻璃基板的技术挑战与解决方案
尽管玻璃基板在下一代半导体封装中展现出巨大潜力,但仍面临多项技术挑战,需要产业链各方共同努力加以解决。
4.1 成本挑战与降低路径
当前玻璃基板的成本较高,是阻碍其大规模应用的主要因素之一。
成本现状:目前玻璃基板成本为有机基板的4-10倍,这在很大程度上限制了其市场应用。与任何新技术一样,玻璃基板的生产和封装成本将比经过验证的有机基板更昂贵,包括原材料成本、加工成本以及后续的封装和测试成本。
成本结构分析:玻璃基板的成本主要由材料成本、加工成本和良率损失构成。玻璃基板单位面积成本较ABF高30%,但通过面板级封装(FOPLP)可提升材料利用率至90%,降低单位成本。玻璃基板的物料成本相对较低,更具性价比,但前期投入成本较高,需通过规模化生产降低单位成本。
降低成本的路径:
1. 规模化生产:随着产量增加,单位成本将显著降低。例如,Absolics计划借助CHIPS ACT补助金在2025年上半年将其美国工厂的产能从SVM(小批量制造)扩大到HVM(大批量制造)。三星世宗工厂的月产能预计达到4000片,这将有助于降低单位成本。
2. 工艺优化:通过改进加工工艺,如采用激光钻孔替代传统蚀刻工艺,可降低加工成本。日本电气硝子通过改良玻璃原料组合和生产工艺,使得其玻璃基板能够利用二氧化碳激光加工机进行微细孔洞钻孔,相比传统的蚀刻工艺大大简化了制程。
3. 产业链协同:推动玻璃基板产业链上下游企业协同合作,共同优化设计和工艺,降低整体成本。湖南越摩先进的控股股东兴橙资本投资布局了晶圆厂、EDA/IP公司等,形成了硅基/玻璃基2.5D封装的完整产业链。
4. 技术创新:开发新型玻璃材料和加工技术,提高良率,降低生产成本。例如,三星电机与康宁公司合作开发出厚度可控在100-300μm的硼硅酸盐玻璃基板,其表面粗糙度(Ra)控制在20nm以内,远超行业标准。
4.2 良率提升与工艺优化
玻璃基板的生产良率是另一个关键挑战,特别是在TGV(Through Glass Via)工艺中。
良率现状:目前玻璃基板的良率相对较低,尤其是在TGV工艺中。据报道,Absolics的玻璃基芯片试产良率可达75%,这是当前玻璃基产品的最高良率水平。三星电机计划在2026年将高算力芯片封装良率提升至85%以上,并启动10um以下更精密路线、12层以上ABF/PI更高层数的量产。
影响良率的因素:
1. 材料脆性:玻璃的脆性是影响良率的主要因素之一。即使是面板边缘接触到任何金属表面,都可能导致玻璃面板产生裂纹或损坏。
2. 加工精度:TGV工艺需要高精度的钻孔和金属化过程,任何偏差都可能导致良率下降。例如,玻璃通孔的位置精度要求达到±2μm以内。
3. 热应力控制:在玻璃基板的加工过程中,温度变化会产生热应力,可能导致玻璃破裂或变形。
良率提升的解决方案:
1. 材料改进:开发更坚韧的玻璃材料,降低脆性。例如,日本电气硝子正在开发结合玻璃与高强度陶瓷的混合材料基板,命名为GC Core玻璃基板,以提高机械强度。
2. 工艺优化:改进TGV工艺,提高加工精度和稳定性。例如,三星采用激光位移补偿算法,将通孔位置精度控制在±2μm以内。
3. 设备创新:开发适合玻璃基板加工的专用设备。英特尔团队在工具设计方面进行了创新,研究如何在生产线上处理这种易碎材料,如何在添加互连层时不产生应力。
4. 仿真技术:应用多物理场仿真技术优化设计和工艺参数。湖南越摩先进开发了自动化仿真平台,实现无工程师干预的快速仿真,效率提升4-5倍,误差≤4%。该平台支持应力、散热、流体等多物理场分析,应用于GPU翘曲优化与可靠性验证。
4.3 标准化与兼容性挑战
缺乏统一的标准是玻璃基板面临的又一重要挑战。
标准化现状:目前玻璃基板缺乏统一的尺寸、厚度和特性标准。与遵循精确全球规格的硅晶圆不同,玻璃基板目前缺乏普遍接受的尺寸和特性。这给设备制造商和半导体工厂带来了挑战,他们需要生产通用兼容设备或调整工艺以适应不同的玻璃基板参数。
兼容性问题:兼容性问题不仅关乎不同批次玻璃基板之间的兼容性,也关乎基板与其所支持的半导体器件之间的兼容性。玻璃独特的电学和热学特性必须与半导体器件的电学和热学特性进行精确匹配。
标准化进展:
1. 行业标准制定:中国在2025年6月发布了T/CSTM 01470—2025《芯片封装用玻璃基板》标准,为芯片封装用玻璃基板的生产、应用等环节提供明确规范。2025年4月,《半导体封装用玻璃基板材料要求及测试方法》团体标准讨论会顺利召开,行业专家和参编单位代表聚焦标准草案的主要范围界定与大纲框架搭建展开积极研讨。
2. 国际标准探索:国际半导体设备与材料协会(SEMI)已发布了SEMI 3D16 - Specification for Glass Base Material for Semiconductor Packaging标准,描述了用于中介层、射频设备和其他类似封装基板的玻璃基材的尺寸和热特性。
3. 厂商协同:主要厂商正在推动玻璃基板标准的制定和应用。例如,台积电计划在2024年9月召开的半导体会议上,公布FOPLP封装技术细节,并公开玻璃基板尺寸规格。
解决方案建议:
1. 建立统一标准:推动行业协会和标准化组织制定统一的玻璃基板标准,包括尺寸、厚度、热膨胀系数、介电性能等关键参数。
2. 模块化设计:采用模块化设计方法,允许不同厂商的玻璃基板在一定范围内兼容,降低集成难度。
3. 兼容性测试:建立完善的兼容性测试体系,确保玻璃基板与半导体器件和封装工艺的兼容性。
五、玻璃基板的市场前景与发展预测
玻璃基板作为下一代半导体封装的关键材料,其市场前景广阔,预计将在未来几年内实现快速增长。
5.1 市场规模与增长预测
根据行业分析和预测,玻璃基板市场将在未来几年内呈现爆发式增长。
当前市场规模:玻璃基板市场仍处于起步阶段,但已显示出强劲的增长势头。全球半导体封装基板市场规模庞大,2024年先进封装市场价值达580亿美元。玻璃基板作为其中的新兴细分市场,虽然目前占比不大,但增长潜力巨大。
未来增长预测:
1. 市场规模预测:行业专家预测,玻璃基板将在2030年前实现大规模量产,2025-2026年将是关键的商业化时间窗口。到2030年,玻璃基板有望在先进封装市场占据重要份额,尤其是在高性能计算和AI芯片领域。
2. 应用领域增长:随着AI、高性能计算和5G通信的发展,对高性能封装材料的需求将持续增长。玻璃基板凭借其优异的性能,将在这些领域获得广泛应用。据预测,2025年全球AI市场规模将突破2,212亿美元,而中国将成为1,671亿美元的主战场。
3. 区域市场增长:亚太地区,尤其是中国和韩国,将成为玻璃基板市场增长的主要驱动力。韩国厂商如三星、SKC和LG Innotek正积极布局玻璃基板技术,中国厂商也在加速追赶,有望在未来几年内实现突破。
5.2 应用领域与市场细分
玻璃基板的应用领域广泛,主要集中在高性能计算、AI、通信和汽车电子等领域。
高性能计算与AI芯片:玻璃基板在高性能计算(HPC)和AI芯片领域具有广阔前景。Absolics称其玻璃基板的主要终端市场将包括AI服务器、数据中心、虚拟现实、通信和自动驾驶汽车,其中高性能计算(HPC)封装至关重要。三星电机研发的玻璃基板凭借其0.05mm/m的超低翘曲特性,可将布线密度提升至现有技术的4倍,同时热膨胀系数(CTE)稳定在3.2ppm/C,较有机基板提升75%的尺寸稳定性,特别适合AI芯片封装。
高带宽内存(HBM):玻璃基板在高带宽内存(HBM)封装中也有重要应用。三星计划在HBM4中全面采用TGV技术,实现大尺寸面板级TGV突破。玻璃基板可实现超精细电路并可容纳各种元件,例如多层陶瓷电容器(MLCC),从而允许在表面安装大型中央处理器(CPU)和图形处理单元(GPU)。
汽车电子与自动驾驶:玻璃基板的卓越热稳定性和机械稳定性使其特别适合汽车电子和自动驾驶应用。特斯拉下一代无人驾驶芯片将采用200x200mm以上超大玻璃基板连接芯片集群。玻璃基板在热管理至关重要的应用中,例如汽车电子、航空航天系统和工业控制,能够承受热循环并在应力下保持尺寸完整性,有助于防止电气短路、断路或其他通常与温度引起的机械应变相关的可靠性问题。
通信与射频应用:玻璃基板的低介电损耗特性使其在通信和射频应用中具有优势。例如,Jarnistech推出的玻璃基板解决方案具有优异的插入损耗特性、阻抗一致性、热稳定性和光学清晰度,适用于射频传输、光电集成和小型化的电子系统。
5.3 竞争格局与市场份额预测
玻璃基板市场的竞争格局正在形成,主要参与者包括英特尔、台积电、三星、SKC、日本电气硝子和中国厂商等。
主要厂商的市场定位:
1. 英特尔:作为玻璃基板技术的先行者,英特尔最初计划自产玻璃基板,但现在可能转向使用外部供应商提供的玻璃基板,以降低营运成本。
2. 台积电:台积电正积极布局玻璃基板技术,计划于2025年为英伟达生产首批基于玻璃基板的芯片,并在2027年量产复杂的TGV工艺。台积电的战略主要服务于其代工客户,特别是英伟达等AI芯片巨头。
3. 三星:三星采取集团化作战策略,整合三星电机、三星电子和三星显示等关联公司的资源,共同开发玻璃基板技术。三星计划在2027年实现玻璃基板规模化量产,并在2028年将玻璃中介层应用于其先进半导体产品中。
4. SKC与Absolics:Absolics有望成为第一家将玻璃基板商业化的公司,计划在2025年底前完成量产准备工作,并已开始与AMD和亚马逊(AWS)就玻璃基板供应进行讨论。
5. 日本电气硝子:日本电气硝子正加快研发用于高效能半导体封装的大型玻璃基板,计划在2026年实现长宽510×510mm玻璃基板的样品出货,并在2028年左右推出长宽600mm的玻璃基板。
市场份额预测:
1. 短期(2025-2027年):在短期内,玻璃基板市场将由英特尔、台积电和三星主导,其中Absolics可能率先实现商业化,抢占市场先机。
2. 中期(2028-2030年):到2028年,随着技术成熟和产能提升,玻璃基板市场将进入快速增长阶段,三星、SKC和日本电气硝子等厂商将扩大市场份额。
3. 长期(2030年以后):长期来看,玻璃基板市场将形成多元化竞争格局,中国厂商有望在全球市场占据一定份额,特别是在中低端应用领域。
市场渗透率预测:
• 2025-2026年:玻璃基板将开始在高端AI芯片和高性能计算领域实现商业化应用,市场渗透率预计达到5-10%。
• 2027-2030年:随着技术成熟和成本降低,玻璃基板将在先进封装市场实现快速渗透,市场渗透率预计达到20-30%。
• 2030年以后:玻璃基板有望成为先进封装的主流材料之一,特别是在高性能计算、AI和高带宽内存等领域,市场渗透率预计达到50%以上。
六、结论与展望
玻璃基板作为下一代半导体封装的关键材料,正引领着半导体封装技术的革命。通过对玻璃基板技术、厂商布局、技术挑战和市场前景的全面分析,我们可以得出以下结论:
6.1 核心结论
1. 技术优势显著:玻璃基板具有卓越的平整度、热稳定性、电气性能和机械强度,能够满足下一代半导体封装对高性能、高密度互连和高可靠性的要求。
2. 商业化进程加速:主要厂商如英特尔、台积电、三星和SKC等已制定了明确的玻璃基板商业化时间表,2025-2026年将是关键的商业化时间窗口。
3. 成本挑战仍需克服:当前玻璃基板成本为有机基板的4-10倍,需通过规模化生产、工艺优化和产业链协同等方式降低成本。
4. 市场前景广阔:玻璃基板市场预计将在2030年前实现快速增长,特别是在高性能计算、AI芯片和高带宽内存等领域,有望成为先进封装的主流材料之一。
6.2 未来发展趋势
1. 技术融合与创新:玻璃基板将与Chiplet、2.5D/3D封装和共封装光学(CPO)等技术深度融合,推动半导体封装技术创新。英特尔正将玻璃基板技术与共同封装光学元件(CPO)结合,瞄准AI芯片和高性能计算(HPC)领域。
2. 产业链整合:玻璃基板产业链上下游企业将加强合作,形成更紧密的产业生态。例如,三星集团整合三星电机、三星电子和三星显示等关联公司的资源,共同开发玻璃基板技术。
3. 应用领域拓展:玻璃基板的应用领域将不断拓展,从高性能计算和AI芯片扩展到汽车电子、通信和航空航天等领域。特斯拉下一代无人驾驶芯片采用200x200mm以上超大玻璃基板连接芯片集群,SpaceX将采用FOPLP技术整合更多不同晶片,开拓未来汽车、卫星、机器人等智算场景。
4. 材料创新:新型玻璃材料和复合材料将不断涌现,进一步提升玻璃基板的性能和降低成本。例如,日本电气硝子正在开发结合玻璃与高强度陶瓷的混合材料基板,命名为GC Core玻璃基板。
6.3 战略建议
对于半导体产业链各环节的参与者,我们提出以下战略建议:
1. 材料供应商:
加大研发投入,开发新型玻璃材料,提升性能,降低成本。
与设备制造商和封装厂商紧密合作,共同解决技术挑战。
参与行业标准制定,提高产品兼容性和市场认可度。
2. 设备制造商:
开发适合玻璃基板加工的专用设备,提高加工精度和效率。
与材料供应商和封装厂商合作,优化工艺流程。
提供一站式解决方案,降低客户的技术门槛和集成难度。
3. 封装厂商:
提前布局玻璃基板技术,建立研发团队和试验线。
与材料供应商和设备制造商合作,共同解决技术挑战。
根据市场需求,制定差异化的玻璃基板应用策略。
4. 终端用户:
关注玻璃基板技术发展,评估其对产品性能的提升潜力。
与封装厂商合作,提前规划基于玻璃基板的产品设计。
参与行业标准制定,确保供应链安全和产品兼容性。
总之,玻璃基板作为下一代半导体封装的关键材料,将在未来几年内实现快速发展。虽然仍面临成本和良率等挑战,但随着技术进步和产业链协同,玻璃基板有望在2030年前成为先进封装的主流材料之一,推动半导体产业进入新的发展阶段。
在AI和高性能计算的推动下,玻璃基板将引领半导体封装技术的革命,为下一代半导体提供更强大的性能、更高的集成度和更低的功耗,助力人工智能、大数据和云计算等领域的创新发展。
沃格光电被认为是A股玻璃基板的龙头,也是全球唯三的TGV玻璃基板龙头之一,原因主要有以下几点:$寒武纪-U(SH688256)$ $东芯股份(SH688110)$
• 全制程工艺能力:沃格光电是全球极少数拥有玻璃基线路板全制程工艺能力和制备装备的公司。从玻璃原材切割、薄化、超精密通孔加工,到双面线路图形化、多层堆叠金属化,其技术参数均达国际一线水平。
• 领先的TGV技术:其子公司通格微拥有全球领先的TGV玻璃基板加工能力,可实现通孔孔径最小至3微米,深径比高达150:1,支持高达四层的线路堆叠,能替代传统硅基TSV技术,该技术能广泛应用在高算力芯片、射频器件、直显基板、微流控芯片等领域。
• 丰富的专利储备:截至2024年年报披露日,沃格光电申请国家专利728件,其中发明285件,实用新型专利443件;共授权专利430件,其中发明专利119件,实用新型专利311件。大量的专利布局为其技术优势提供了有力保障。
• 产业化应用成果显著:在显示领域,沃格光电的玻璃基MiniLED背光技术率先在海信G9电竞显示器量产,还推出了多种玻璃基MiniLED产品;在半导体封装领域,其TGV技术应用于高算力芯片载板,获英伟达、博通等巨头验证导入,还获得了H大客户信创GPU量产订单。
• 产能布局优势:沃格光电不断完善产能布局,全资子公司江西德虹年产500万平米玻璃基板项目一期100万平米产能已于2024年下半年投产,湖北通格微年产100万平米玻璃基半导体板级封装载板项目一期年产10万平米相关设备已陆续到场进行安装,预计2025年内进行试生产。
一、半导体封装材料的演进与玻璃基板的崛起
随着摩尔定律逐渐逼近物理极限,半导体行业正寻求通过先进封装技术突破性能瓶颈。在这一背景下,封装基板材料的选择变得尤为关键。传统的有机基板(如ABF)在面对高性能AI芯片时已显露出局限性,而玻璃基板凭借其优异的物理和电气特性,正成为下一代半导体封装的核心材料。
1.1 封装基板材料的发展历程
半导体封装基板材料经历了从陶瓷到有机再到硅基材料的演变过程。早期的陶瓷基板因其高机械强度和良好的热性能在高可靠性领域占据主导地位,但高昂的成本和加工难度限制了其广泛应用。随着工艺进步,有机基板凭借其低成本、易加工和良好的综合性能成为主流选择,目前在市场中占据最大份额。
然而,随着AI芯片算力需求呈指数级增长,传统有机基板已面临物理极限。据IEEE最新研究显示,H100等高端AI芯片在运行时的热变形量已超过有机基板0.8mm/m的形变承受阈值。这一挑战推动了业界对新型封装材料的探索,玻璃基板因此进入视野。
1.2 玻璃基板的技术优势
玻璃基板之所以能够在先进封装领域崭露头角,主要源于其多方面的技术优势:
卓越的平整度与稳定性:玻璃基板具有极低的翘曲特性,可达0.05mm/m,远低于有机基板的0.8mm/m。这种高平整度确保了光刻过程中的聚焦深度,有利于提高封装质量和良率。
优异的热性能:玻璃基板的热膨胀系数(CTE)稳定在3.2-3.5ppm/C,与硅芯片的CTE更为接近,显著降低了热应力问题。其热稳定性也极为出色,能够在-40C至200C的温度范围内保持稳定性能。
电气性能优势:玻璃基板的介电常数(Dk)约为5.2@1GHz,介电损耗(Df)约为0.006@1GHz,这使得信号传输更为高效,尤其是在高频应用中。其低介电损耗特性可降低信号延迟和能量损失,特别适合高性能计算和AI芯片。
高机械强度与可靠性:玻璃基板的抗弯强度可达100MPa以上,弹性模量约为70GPa,远高于有机基板。这种高强度使其能够承受更大的机械应力,提高了封装的长期可靠性。在温循测试中,玻璃基板的性能提升可达25%-40%,特别适合军工、航天等高要求场景。
更高的互连密度:玻璃基板可实现更薄的基板设计(如800μm厚度),支持更精细的线路加工。玻璃芯通孔之间的间隔能够小于100微米,这直接能让晶片之间的互连密度提升10倍。
热管理优势:虽然玻璃的导热系数(约1.2W/mK)高于有机基板(约0.7W/mK),但其热稳定性和低翘曲特性使其在热管理方面表现更为出色,能够有效应对AI芯片等高功耗器件的散热需求。
这些综合优势使玻璃基板成为2.5D/3D封装、Chiplet技术等先进封装领域的理想选择,为下一代半导体提供了性能突破的可能。
二、玻璃基板在先进封装中的应用场景与技术路线
玻璃基板在半导体封装领域的应用主要集中在几个关键技术方向,包括玻璃中介层(Glass Interposer)、面板级封装(FOPLP)和玻璃通孔(TGV)技术等。这些技术路线正快速发展,有望在未来几年内实现大规模商业化。
2.1 玻璃中介层:替代硅中介层的新选择
玻璃中介层是玻璃基板在先进封装中的一个重要应用方向。传统上,2.5D/3D封装中常使用硅中介层(Si-Interposer)来实现芯片间的互连,但硅中介层存在成本高、工艺复杂等问题。玻璃中介层以其独特优势,正成为替代硅中介层的有力竞争者。
技术特点:玻璃中介层采用玻璃基板作为核心材料,通过玻璃通孔(TGV)技术实现垂直互连。相比硅中介层,玻璃中介层具有更低的介电常数和介电损耗,能够提供更好的信号完整性和更低的功耗。其热膨胀系数与硅更匹配,可降低热应力,提高封装的可靠性。
应用场景:玻璃中介层主要应用于高性能计算、AI加速器和高带宽内存(HBM)等领域。例如,三星计划在2028年前将玻璃中介层应用于其先进半导体产品中,以"满足客户需求"。AMD也在评估玻璃基板样品,计划在2025-2026年将玻璃中介层技术引入其HPC产品,以增强竞争力。
技术进展:英特尔在2023年9月推出了业界首批用于下一代先进封装的玻璃基板,计划在2026年至2030年推出完整的玻璃基板解决方案。三星电机则计划在2025年开始向两至三家美国大型科技公司供应玻璃中介层样品,并在2027年实现规模化量产。
2.2 扇出型面板级封装(FOPLP)与玻璃基板
扇出型面板级封装(Fan-Out Panel Level Packaging, FOPLP)是另一个将玻璃基板作为核心材料的重要技术方向。与传统的晶圆级封装(WLP)相比,FOPLP在方形面板上进行封装,具有更高的生产效率和更低的成本。
技术特点:FOPLP技术通过玻璃基板的高平整度和低热膨胀系数,解决了传统有机基板在高密度封装中的翘曲问题,同时支持更高的互连密度和信号传输效率。玻璃基板的使用使得FOPLP能够实现更精细的线路加工,支持更小的线宽和间距。
应用场景:FOPLP技术主要应用于大尺寸芯片封装,如GPU、AI芯片和高性能处理器等。台积电已将玻璃基板视为延续先进封装技术优势的关键战略方向,计划于2025年为英伟达生产首批基于玻璃基板的芯片。
技术进展:台积电近年来在玻璃基板领域的布局加速推进,将其视为延续先进封装技术优势的关键战略方向。2024年9月,台积电宣布将大力开发扇出型面板级封装(FOPLP)技术,并明确将玻璃基板作为核心材料。根据规划,台积电将在2025年采用Chip-First方法,2026年过渡到更先进的RDL-First工艺,并计划于2027年量产复杂的TGV工艺。
2.3 玻璃通孔(TGV)技术与工艺挑战
玻璃通孔(Through Glass Via, TGV)技术是玻璃基板应用于先进封装的关键技术,直接影响着玻璃基板的性能和成本。
技术特点:TGV技术是指以硼硅玻璃、石英玻璃等为基材,通过通孔或盲孔成型、种子层溅射、电镀填充等工艺来实现3D互连的关键技术。与硅通孔(TSV)相比,TGV具有更低的介电损耗和更好的信号完整性,特别适合高频应用。
工艺挑战:尽管TGV技术早在10年前就已问世,但其速度未能满足量产需求,仅能达到每秒10~50个孔,使得玻璃基板技术至今尚未能起飞。目前,TGV加工成本较高,约为0.05美元/孔,需通过规模化生产降低至0.01美元/孔以下。此外,玻璃的脆性也增加了加工难度,如何在保证性能的同时提高良品率,是TGV技术面临的主要挑战。
技术突破:为克服这些挑战,业界正在积极探索新的加工技术。例如,日本电气硝子通过改良玻璃原料组合和生产工艺,使得其玻璃基板能够利用二氧化碳激光加工机进行微细孔洞钻孔,相比传统的蚀刻工艺大大简化了制程。三星则采用激光位移补偿算法,将通孔位置精度控制在±2μm以内,实现了大尺寸面板级TGV的突破。
三、主要厂商布局与产业化进程
全球半导体行业的主要厂商已纷纷布局玻璃基板技术,形成了以英特尔、台积电、三星为首的竞争格局。这些厂商的技术路线和产业化时间表各不相同,但都将玻璃基板视为下一代半导体封装的关键材料。
3.1 英特尔:玻璃基板技术的先行者
英特尔是最早布局玻璃基板技术的半导体巨头之一,其在该领域的研究已开展了十多年。
技术路线:英特尔的玻璃基板技术路线聚焦于玻璃芯(Glass Core)封装,通过实心玻璃芯取代传统层压板中的编织玻璃芯,显著提升了尺寸稳定性、通孔密度和信号传输速度。英特尔的玻璃基板技术核心优势在于其优异的热膨胀系数匹配性和平整度,能够将图案变形减少50%,同时支持更高温度下的稳定加工。
产业化进程:英特尔在2023年9月宣布推出业界首批用于下一代先进封装的玻璃基板,计划在2026年至2030年推出完整的玻璃基板解决方案。为支撑这一技术路线,英特尔在过去十年间已投入约10亿美元,在美国亚利桑那州建立了专门的玻璃基板研发线和供应链。
最新动态:据报道,英特尔正在调整其玻璃基板战略,计划停止自产玻璃基板,转而使用外部供应商提供的玻璃基板,以降低营运成本,并专注于CPU发展与晶圆制造等核心业务。这一转变可能为其他厂商提供了市场机会,如SKC的子公司Absolics有望从中受益。
3.2 台积电:面向英伟达需求的快速跟进
台积电作为全球最大的独立半导体代工厂,在玻璃基板领域的布局紧密围绕其先进封装技术路线展开。
技术路线:台积电聚焦玻璃芯扇出(Glass Core Fan-Out)和TGV工艺的研发。根据中国台湾玻璃基板供应链的规划,台积电的技术路线已明确:2025年采用Chip-First方法,2026年过渡到更先进的RDL-First工艺,并计划于2027年量产复杂的TGV工艺。此外,台积电还通过优化玻璃基板的深宽比设计(如2027年目标实现20:1的深宽比),进一步提升封装性能。
产业化进程:台积电计划于2025年为英伟达生产首批基于玻璃基板的芯片。IT之家援引消息源报道,台积电将会在2024年9月召开的半导体会议上,公布FOPLP封装技术细节,并公开玻璃基板尺寸规格。台积电还计划将玻璃基板尺寸从目前的300毫米增加到510毫米,2027年量产;600毫米版本也计划于2028年推出。
市场定位:台积电的玻璃基板战略主要服务于其代工客户,特别是英伟达等AI芯片巨头。在英伟达的不断催促下,台积电不仅加大了对FOPLP的投入,还重启了此前搁置的玻璃基板技术研发,以应对市场需求。
3.3 三星与韩国厂商:全面布局玻璃基板产业链
韩国厂商,特别是三星、SKC和LG Innotek,正积极布局玻璃基板技术,形成了完整的产业链生态。
三星的技术路线:三星采用FOPLP技术,使用510mm×515mm玻璃面板,通孔位置精度<±2μm(激光位移补偿算法),HBM4全面采用TGV技术,实现大尺寸面板级TGV突破。三星集团采取了集团化作战的策略,在2024年3月,三星电子已开始与三星电机和三星显示等主要电子关联公司联合研发玻璃基板。
产业化进程:三星电机于2024年6月12日宣布,其自主研发的玻璃基板技术已进入产业化倒计时阶段,计划在2027年实现规模化量产。按照规划,2024Q3将完成200mm晶圆试产,2025年转入300mm晶圆阶段。三星电子则计划在2028年将玻璃中介层应用于其先进半导体产品中。
SKC与Absolics:SKC的美国子公司Absolics正在推进玻璃基板计划,争取在2025年上半年试量产,今年底实现玻璃基板的商业化,为HPC相关封装公司、数据中心、AI等提供高性能、低功耗、高良率、低价格的下一代封装产品。Absolics计划在2025年底前完成量产准备工作,有望成为第一家将玻璃基板商业化的公司。
LG Innotek:LG Innotek正准备进入玻璃基板市场,在其龟尾工厂建设一条试验生产线,计划在2025年底前开始原型生产。该公司CEO Moon Hyuk-soo在2025年3月的例行股东大会上表示:"将把半导体基板和电子系统组件业务发展到第一"。
3.4 日本厂商:材料优势与技术积累
日本厂商凭借其在玻璃材料领域的深厚积累,在玻璃基板市场占据重要地位。
日本电气硝子(NEG):日本电气硝子正在加快研发用于高效能半导体封装的大型玻璃基板,并计划在2026年实现长宽510×510mm玻璃基板的样品出货。同时,公司还计划在2028年左右推出长宽600mm的玻璃基板,并预计在2028财年实现商业化销售。据公司官方数据,尺寸为515×510×t1.0mm的实验品已完成开发,预计将于2025年内提供样品。
Ibiden:作为全球最大的半导体基板厂商之一,Ibiden在2023–2027年资本支出计划中明确涵盖"glass core substrate"(玻璃核心基板)研发,预示着其将玻璃基板视为重要增长方向。针对AI Server市场,Ibiden正提升IC基板产能以支持英伟达供应链需求,未来玻璃基板量产机会正在酝酿之中。
旭硝子与康宁:虽然旭硝子未直接提及玻璃基板在半导体封装中的应用,但其在玻璃材料领域的技术积累使其成为潜在的重要参与者。康宁则在玻璃封装的三个关键制程(玻璃通孔、通孔填孔与高密度布线)都有深入研究,未来重点在于如何将这三个制程整合起来,提升良率并实现量产。
3.5 中国厂商:加速追赶的新兴力量
中国厂商在玻璃基板领域起步较晚,但已开始加速布局,有望在未来几年内实现突破。
京东方:2024年9月,中国面板大厂京东方成立中国大陆第一家从显示面板转向先进封装的业务部门,并正式发布并展出面向半导体封装的玻璃基面板级封装载板,该面板级载板面向AI芯片,计划2026年后启动量产。
沃格光电:沃格光电是光电玻璃精加工企业,拥有玻璃基板级封装载板技术。其玻璃基IC板运用TGV技术,应用于先进封装领域(2.5D/3D垂直封装)。
龙光天旭:山东龙光天旭太阳能有限公司参与起草的T/CSTM 01470—2025《芯片封装用玻璃基板》标准于2025年6月正式发布,这一标准的发布将为芯片封装用玻璃基板的生产、应用等环节提供明确规范,推动相关行业的健康、有序发展。
行业协作:2025年4月10日,《半导体封装用玻璃基板材料要求及测试方法》团体标准讨论会顺利召开,行业专家和参编单位代表聚焦标准草案的主要范围界定与大纲框架搭建展开积极研讨,力求形成一套统一、规范、实用的测试方法体系,为行业提供可靠的检测依据。
四、玻璃基板的技术挑战与解决方案
尽管玻璃基板在下一代半导体封装中展现出巨大潜力,但仍面临多项技术挑战,需要产业链各方共同努力加以解决。
4.1 成本挑战与降低路径
当前玻璃基板的成本较高,是阻碍其大规模应用的主要因素之一。
成本现状:目前玻璃基板成本为有机基板的4-10倍,这在很大程度上限制了其市场应用。与任何新技术一样,玻璃基板的生产和封装成本将比经过验证的有机基板更昂贵,包括原材料成本、加工成本以及后续的封装和测试成本。
成本结构分析:玻璃基板的成本主要由材料成本、加工成本和良率损失构成。玻璃基板单位面积成本较ABF高30%,但通过面板级封装(FOPLP)可提升材料利用率至90%,降低单位成本。玻璃基板的物料成本相对较低,更具性价比,但前期投入成本较高,需通过规模化生产降低单位成本。
降低成本的路径:
1. 规模化生产:随着产量增加,单位成本将显著降低。例如,Absolics计划借助CHIPS ACT补助金在2025年上半年将其美国工厂的产能从SVM(小批量制造)扩大到HVM(大批量制造)。三星世宗工厂的月产能预计达到4000片,这将有助于降低单位成本。
2. 工艺优化:通过改进加工工艺,如采用激光钻孔替代传统蚀刻工艺,可降低加工成本。日本电气硝子通过改良玻璃原料组合和生产工艺,使得其玻璃基板能够利用二氧化碳激光加工机进行微细孔洞钻孔,相比传统的蚀刻工艺大大简化了制程。
3. 产业链协同:推动玻璃基板产业链上下游企业协同合作,共同优化设计和工艺,降低整体成本。湖南越摩先进的控股股东兴橙资本投资布局了晶圆厂、EDA/IP公司等,形成了硅基/玻璃基2.5D封装的完整产业链。
4. 技术创新:开发新型玻璃材料和加工技术,提高良率,降低生产成本。例如,三星电机与康宁公司合作开发出厚度可控在100-300μm的硼硅酸盐玻璃基板,其表面粗糙度(Ra)控制在20nm以内,远超行业标准。
4.2 良率提升与工艺优化
玻璃基板的生产良率是另一个关键挑战,特别是在TGV(Through Glass Via)工艺中。
良率现状:目前玻璃基板的良率相对较低,尤其是在TGV工艺中。据报道,Absolics的玻璃基芯片试产良率可达75%,这是当前玻璃基产品的最高良率水平。三星电机计划在2026年将高算力芯片封装良率提升至85%以上,并启动10um以下更精密路线、12层以上ABF/PI更高层数的量产。
影响良率的因素:
1. 材料脆性:玻璃的脆性是影响良率的主要因素之一。即使是面板边缘接触到任何金属表面,都可能导致玻璃面板产生裂纹或损坏。
2. 加工精度:TGV工艺需要高精度的钻孔和金属化过程,任何偏差都可能导致良率下降。例如,玻璃通孔的位置精度要求达到±2μm以内。
3. 热应力控制:在玻璃基板的加工过程中,温度变化会产生热应力,可能导致玻璃破裂或变形。
良率提升的解决方案:
1. 材料改进:开发更坚韧的玻璃材料,降低脆性。例如,日本电气硝子正在开发结合玻璃与高强度陶瓷的混合材料基板,命名为GC Core玻璃基板,以提高机械强度。
2. 工艺优化:改进TGV工艺,提高加工精度和稳定性。例如,三星采用激光位移补偿算法,将通孔位置精度控制在±2μm以内。
3. 设备创新:开发适合玻璃基板加工的专用设备。英特尔团队在工具设计方面进行了创新,研究如何在生产线上处理这种易碎材料,如何在添加互连层时不产生应力。
4. 仿真技术:应用多物理场仿真技术优化设计和工艺参数。湖南越摩先进开发了自动化仿真平台,实现无工程师干预的快速仿真,效率提升4-5倍,误差≤4%。该平台支持应力、散热、流体等多物理场分析,应用于GPU翘曲优化与可靠性验证。
4.3 标准化与兼容性挑战
缺乏统一的标准是玻璃基板面临的又一重要挑战。
标准化现状:目前玻璃基板缺乏统一的尺寸、厚度和特性标准。与遵循精确全球规格的硅晶圆不同,玻璃基板目前缺乏普遍接受的尺寸和特性。这给设备制造商和半导体工厂带来了挑战,他们需要生产通用兼容设备或调整工艺以适应不同的玻璃基板参数。
兼容性问题:兼容性问题不仅关乎不同批次玻璃基板之间的兼容性,也关乎基板与其所支持的半导体器件之间的兼容性。玻璃独特的电学和热学特性必须与半导体器件的电学和热学特性进行精确匹配。
标准化进展:
1. 行业标准制定:中国在2025年6月发布了T/CSTM 01470—2025《芯片封装用玻璃基板》标准,为芯片封装用玻璃基板的生产、应用等环节提供明确规范。2025年4月,《半导体封装用玻璃基板材料要求及测试方法》团体标准讨论会顺利召开,行业专家和参编单位代表聚焦标准草案的主要范围界定与大纲框架搭建展开积极研讨。
2. 国际标准探索:国际半导体设备与材料协会(SEMI)已发布了SEMI 3D16 - Specification for Glass Base Material for Semiconductor Packaging标准,描述了用于中介层、射频设备和其他类似封装基板的玻璃基材的尺寸和热特性。
3. 厂商协同:主要厂商正在推动玻璃基板标准的制定和应用。例如,台积电计划在2024年9月召开的半导体会议上,公布FOPLP封装技术细节,并公开玻璃基板尺寸规格。
解决方案建议:
1. 建立统一标准:推动行业协会和标准化组织制定统一的玻璃基板标准,包括尺寸、厚度、热膨胀系数、介电性能等关键参数。
2. 模块化设计:采用模块化设计方法,允许不同厂商的玻璃基板在一定范围内兼容,降低集成难度。
3. 兼容性测试:建立完善的兼容性测试体系,确保玻璃基板与半导体器件和封装工艺的兼容性。
五、玻璃基板的市场前景与发展预测
玻璃基板作为下一代半导体封装的关键材料,其市场前景广阔,预计将在未来几年内实现快速增长。
5.1 市场规模与增长预测
根据行业分析和预测,玻璃基板市场将在未来几年内呈现爆发式增长。
当前市场规模:玻璃基板市场仍处于起步阶段,但已显示出强劲的增长势头。全球半导体封装基板市场规模庞大,2024年先进封装市场价值达580亿美元。玻璃基板作为其中的新兴细分市场,虽然目前占比不大,但增长潜力巨大。
未来增长预测:
1. 市场规模预测:行业专家预测,玻璃基板将在2030年前实现大规模量产,2025-2026年将是关键的商业化时间窗口。到2030年,玻璃基板有望在先进封装市场占据重要份额,尤其是在高性能计算和AI芯片领域。
2. 应用领域增长:随着AI、高性能计算和5G通信的发展,对高性能封装材料的需求将持续增长。玻璃基板凭借其优异的性能,将在这些领域获得广泛应用。据预测,2025年全球AI市场规模将突破2,212亿美元,而中国将成为1,671亿美元的主战场。
3. 区域市场增长:亚太地区,尤其是中国和韩国,将成为玻璃基板市场增长的主要驱动力。韩国厂商如三星、SKC和LG Innotek正积极布局玻璃基板技术,中国厂商也在加速追赶,有望在未来几年内实现突破。
5.2 应用领域与市场细分
玻璃基板的应用领域广泛,主要集中在高性能计算、AI、通信和汽车电子等领域。
高性能计算与AI芯片:玻璃基板在高性能计算(HPC)和AI芯片领域具有广阔前景。Absolics称其玻璃基板的主要终端市场将包括AI服务器、数据中心、虚拟现实、通信和自动驾驶汽车,其中高性能计算(HPC)封装至关重要。三星电机研发的玻璃基板凭借其0.05mm/m的超低翘曲特性,可将布线密度提升至现有技术的4倍,同时热膨胀系数(CTE)稳定在3.2ppm/C,较有机基板提升75%的尺寸稳定性,特别适合AI芯片封装。
高带宽内存(HBM):玻璃基板在高带宽内存(HBM)封装中也有重要应用。三星计划在HBM4中全面采用TGV技术,实现大尺寸面板级TGV突破。玻璃基板可实现超精细电路并可容纳各种元件,例如多层陶瓷电容器(MLCC),从而允许在表面安装大型中央处理器(CPU)和图形处理单元(GPU)。
汽车电子与自动驾驶:玻璃基板的卓越热稳定性和机械稳定性使其特别适合汽车电子和自动驾驶应用。特斯拉下一代无人驾驶芯片将采用200x200mm以上超大玻璃基板连接芯片集群。玻璃基板在热管理至关重要的应用中,例如汽车电子、航空航天系统和工业控制,能够承受热循环并在应力下保持尺寸完整性,有助于防止电气短路、断路或其他通常与温度引起的机械应变相关的可靠性问题。
通信与射频应用:玻璃基板的低介电损耗特性使其在通信和射频应用中具有优势。例如,Jarnistech推出的玻璃基板解决方案具有优异的插入损耗特性、阻抗一致性、热稳定性和光学清晰度,适用于射频传输、光电集成和小型化的电子系统。
5.3 竞争格局与市场份额预测
玻璃基板市场的竞争格局正在形成,主要参与者包括英特尔、台积电、三星、SKC、日本电气硝子和中国厂商等。
主要厂商的市场定位:
1. 英特尔:作为玻璃基板技术的先行者,英特尔最初计划自产玻璃基板,但现在可能转向使用外部供应商提供的玻璃基板,以降低营运成本。
2. 台积电:台积电正积极布局玻璃基板技术,计划于2025年为英伟达生产首批基于玻璃基板的芯片,并在2027年量产复杂的TGV工艺。台积电的战略主要服务于其代工客户,特别是英伟达等AI芯片巨头。
3. 三星:三星采取集团化作战策略,整合三星电机、三星电子和三星显示等关联公司的资源,共同开发玻璃基板技术。三星计划在2027年实现玻璃基板规模化量产,并在2028年将玻璃中介层应用于其先进半导体产品中。
4. SKC与Absolics:Absolics有望成为第一家将玻璃基板商业化的公司,计划在2025年底前完成量产准备工作,并已开始与AMD和亚马逊(AWS)就玻璃基板供应进行讨论。
5. 日本电气硝子:日本电气硝子正加快研发用于高效能半导体封装的大型玻璃基板,计划在2026年实现长宽510×510mm玻璃基板的样品出货,并在2028年左右推出长宽600mm的玻璃基板。
市场份额预测:
1. 短期(2025-2027年):在短期内,玻璃基板市场将由英特尔、台积电和三星主导,其中Absolics可能率先实现商业化,抢占市场先机。
2. 中期(2028-2030年):到2028年,随着技术成熟和产能提升,玻璃基板市场将进入快速增长阶段,三星、SKC和日本电气硝子等厂商将扩大市场份额。
3. 长期(2030年以后):长期来看,玻璃基板市场将形成多元化竞争格局,中国厂商有望在全球市场占据一定份额,特别是在中低端应用领域。
市场渗透率预测:
• 2025-2026年:玻璃基板将开始在高端AI芯片和高性能计算领域实现商业化应用,市场渗透率预计达到5-10%。
• 2027-2030年:随着技术成熟和成本降低,玻璃基板将在先进封装市场实现快速渗透,市场渗透率预计达到20-30%。
• 2030年以后:玻璃基板有望成为先进封装的主流材料之一,特别是在高性能计算、AI和高带宽内存等领域,市场渗透率预计达到50%以上。
六、结论与展望
玻璃基板作为下一代半导体封装的关键材料,正引领着半导体封装技术的革命。通过对玻璃基板技术、厂商布局、技术挑战和市场前景的全面分析,我们可以得出以下结论:
6.1 核心结论
1. 技术优势显著:玻璃基板具有卓越的平整度、热稳定性、电气性能和机械强度,能够满足下一代半导体封装对高性能、高密度互连和高可靠性的要求。
2. 商业化进程加速:主要厂商如英特尔、台积电、三星和SKC等已制定了明确的玻璃基板商业化时间表,2025-2026年将是关键的商业化时间窗口。
3. 成本挑战仍需克服:当前玻璃基板成本为有机基板的4-10倍,需通过规模化生产、工艺优化和产业链协同等方式降低成本。
4. 市场前景广阔:玻璃基板市场预计将在2030年前实现快速增长,特别是在高性能计算、AI芯片和高带宽内存等领域,有望成为先进封装的主流材料之一。
6.2 未来发展趋势
1. 技术融合与创新:玻璃基板将与Chiplet、2.5D/3D封装和共封装光学(CPO)等技术深度融合,推动半导体封装技术创新。英特尔正将玻璃基板技术与共同封装光学元件(CPO)结合,瞄准AI芯片和高性能计算(HPC)领域。
2. 产业链整合:玻璃基板产业链上下游企业将加强合作,形成更紧密的产业生态。例如,三星集团整合三星电机、三星电子和三星显示等关联公司的资源,共同开发玻璃基板技术。
3. 应用领域拓展:玻璃基板的应用领域将不断拓展,从高性能计算和AI芯片扩展到汽车电子、通信和航空航天等领域。特斯拉下一代无人驾驶芯片采用200x200mm以上超大玻璃基板连接芯片集群,SpaceX将采用FOPLP技术整合更多不同晶片,开拓未来汽车、卫星、机器人等智算场景。
4. 材料创新:新型玻璃材料和复合材料将不断涌现,进一步提升玻璃基板的性能和降低成本。例如,日本电气硝子正在开发结合玻璃与高强度陶瓷的混合材料基板,命名为GC Core玻璃基板。
6.3 战略建议
对于半导体产业链各环节的参与者,我们提出以下战略建议:
1. 材料供应商:
加大研发投入,开发新型玻璃材料,提升性能,降低成本。
与设备制造商和封装厂商紧密合作,共同解决技术挑战。
参与行业标准制定,提高产品兼容性和市场认可度。
2. 设备制造商:
开发适合玻璃基板加工的专用设备,提高加工精度和效率。
与材料供应商和封装厂商合作,优化工艺流程。
提供一站式解决方案,降低客户的技术门槛和集成难度。
3. 封装厂商:
提前布局玻璃基板技术,建立研发团队和试验线。
与材料供应商和设备制造商合作,共同解决技术挑战。
根据市场需求,制定差异化的玻璃基板应用策略。
4. 终端用户:
关注玻璃基板技术发展,评估其对产品性能的提升潜力。
与封装厂商合作,提前规划基于玻璃基板的产品设计。
参与行业标准制定,确保供应链安全和产品兼容性。
总之,玻璃基板作为下一代半导体封装的关键材料,将在未来几年内实现快速发展。虽然仍面临成本和良率等挑战,但随着技术进步和产业链协同,玻璃基板有望在2030年前成为先进封装的主流材料之一,推动半导体产业进入新的发展阶段。
在AI和高性能计算的推动下,玻璃基板将引领半导体封装技术的革命,为下一代半导体提供更强大的性能、更高的集成度和更低的功耗,助力人工智能、大数据和云计算等领域的创新发展。
沃格光电被认为是A股玻璃基板的龙头,也是全球唯三的TGV玻璃基板龙头之一,原因主要有以下几点:$寒武纪-U(SH688256)$ $东芯股份(SH688110)$
• 全制程工艺能力:沃格光电是全球极少数拥有玻璃基线路板全制程工艺能力和制备装备的公司。从玻璃原材切割、薄化、超精密通孔加工,到双面线路图形化、多层堆叠金属化,其技术参数均达国际一线水平。
• 领先的TGV技术:其子公司通格微拥有全球领先的TGV玻璃基板加工能力,可实现通孔孔径最小至3微米,深径比高达150:1,支持高达四层的线路堆叠,能替代传统硅基TSV技术,该技术能广泛应用在高算力芯片、射频器件、直显基板、微流控芯片等领域。
• 丰富的专利储备:截至2024年年报披露日,沃格光电申请国家专利728件,其中发明285件,实用新型专利443件;共授权专利430件,其中发明专利119件,实用新型专利311件。大量的专利布局为其技术优势提供了有力保障。
• 产业化应用成果显著:在显示领域,沃格光电的玻璃基MiniLED背光技术率先在海信G9电竞显示器量产,还推出了多种玻璃基MiniLED产品;在半导体封装领域,其TGV技术应用于高算力芯片载板,获英伟达、博通等巨头验证导入,还获得了H大客户信创GPU量产订单。
• 产能布局优势:沃格光电不断完善产能布局,全资子公司江西德虹年产500万平米玻璃基板项目一期100万平米产能已于2024年下半年投产,湖北通格微年产100万平米玻璃基半导体板级封装载板项目一期年产10万平米相关设备已陆续到场进行安装,预计2025年内进行试生产。
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