公告日期：2025-08-30

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2025-074
上海至纯洁净系统科技股份有限公司

2025 年半年度募集资金存放与实际使用情况的

专项报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

根据中国证券监督管理委员会《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、上海证券交易所《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》及相关格式指引等规定，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“本公司”）编制的 2025 年半年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告如下：

一、募集资金基本情况

2020 年 11 月 12 日经中国证券监督管理委员会《关于核准上海至纯洁净系统
科技股份有限公司非公开发行股票的批复》（证监许可[2020]3020 号）的核准，
公司非公开发行不超过 78,005,377 股新股，截至 2020 年 12 月 23 日，公司本次
非公开发行人民币普通股 47,749,661 股，发行价格 28.79 元/股，实际募集资金总额为人民币 1,374,712,740.19 元，扣除各项不含税发行费用人民币 20,184,669.49元后，募集资金净额为人民币 1,354,528,070.70 元。众华会计师事务所（特殊普
通合伙）于 2020 年 12 月 23 日对本次发行的资金到位情况进行了审验，并出具
了《验资报告》[众会字（2020）第 8380 号]。

截至 2025 年 6 月 30 日，本公司募集资金使用及结存情况如下：

项目 金额（元）

募集资金总额 1,374,712,740.19

减：发行费用-承销费（含税） 19,000,000.00

募集资金到账 1,355,712,740.19

减：募投项目-补充流动资金 404,610,133.29

减：暂时补充流动资金 284,000,000.00

减：永久补充流动资金金额 88,466,521.39

减：支付发行费用 1,648,000.00

减：投入募投项目-半导体湿法清洗设备扩产项目 198,598,430.90

减：投入募投项目-光电子材料及器件制造基地建设项目 280,808,753.06

减：半导体晶圆再生二期项目 22,932,100.00

减：单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目 77,416,720.40

减：手续费 7,723.87

减：其他划款 5,832.51

加：其他划款 1,880.00

加：利息收入 3,466,621.20

募集资金余额 687,025.97

二、募集资金管理情况

为规范公司募集资金管理，保护中小投资者的权益，公司制定了《上海至纯洁净系统科技股份有限公司募集资金管理制度》（以下简……
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