公告日期：2025-08-30

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2025-077
上海至纯洁净系统科技股份有限公司

关于 2025 年度“提质增效重回报”行动方案的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

为深入贯彻党的二十大和中央金融工作会议精神，落实国务院《关于进一步提高上市公司质量的意见》要求，积极响应上海证券交易所《关于开展沪市公司“提质增效重回报”专项行动的倡议》，践行“以投资者为本”的理念，推动上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）高质量发展和投资价值提升，保护投资者尤其是中小投资者合法权益，公司制定了 2025 年度“提质增效重回报”行动方案，具体方案如下：

一、聚焦经营主业，持续提升核心竞争力

公司业务目前 80%在半导体行业，从行业发展周期及战略角度出发，在下游客户的建设投产期和运营量产期进行产品和业务布局。在建设投产期，为客户提供制程设备、高纯工艺设备及系统。在稳定运营期，公司为客户提供电子材料、零部件及专业服务。公司的核心业务紧紧围绕为晶圆厂提供从前期建设到稳定运营阶段全生命周期的产品和服务。而公司这些核心业务的布局，围绕微污染控制技术、复杂工艺控制技术、超高纯度流体控制技术等，通过数年完成了覆盖核心用户全生命周期的产品和服务组合。该组合有助于公司在半导体产业不同周期阶段，都可以有较平稳的营收和发展。

2025 年上半年，公司单片式湿法清洗设备 S300 经认定获得“专利密集型产
品认定证书”；公司 12 英寸集成电路单片式高温硫酸清洗设备质量攻关项目经评定，获上海市重点产品质量攻关成果二等奖；合肥至微半导体荣获合肥市“无废工厂”称号；经上海市经济和信息化委员会评选，公司入选“2024 年上海市制造业单项冠军企业名单”；经上海市集成电路行业协会评定，公司位列上海市集成电路设备业（本土）销售前五名。

公司作为高新技术企业并担任上海产业技术创新促进会理事单位，始终秉持
创新发展的战略核心，公司一直以来积极主动地在经营战略、工艺、技术、产品、组织等方面不断进行创新。目前，公司及子公司已有九家企业获得“高新技术企业”认定，其中八家同时也是“专精特新”企业，一家同时也是专精特新“小巨人”企业。

公司坚持 2005 年开始提出的 LAB2FAB战略，投入研发满足用户在创新领
域的各种对于装备和工艺系统的需求。公司的研发和创新，坚持以客户需求为中心，公司在研发端尤其注重吸引国际和国内资深人才。

二、重视投资者利益，践行投资者回报

公司高度重视投资者回报，致力于以良好的经营业绩为股东创造持续稳定的投资回报，坚持稳定、持续、科学的分红理念与投资者分享经营发展成果。自2017 年上市以来，累计现金分红 2.34 亿元，同时公司积极实施股份回购，截至
2025 年 6 月末，公司已累计使用自有资金 1.83 亿元回购公司股份 6,737,861 股，
进一步提振市场信心，维护公司投资价值。

未来，公司将继续秉持以投资者为本的理念，牢固树立回报股东意识，积极提升投资者回报能力和水平。在充分考虑公司发展阶段、经营情况、盈利水平以及资本开支等因素的基础上，充分借鉴优秀上市公司实践，努力为股东提供合理回报。

三、提升信息披露质量，加强与投资者沟通

公司始终秉持严谨、稳重的态度，严格遵守《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》及《上海证券交易所股票上市规则》等相关法律法规和规范性文件，确保披露信息的真实、准确、完整，信息披露的及时性和公平性。公司亦致力于提升信息披露的易读性和有效性，以便投资者能够更便捷地了解公司的经营情况，从而增强公司的信息透明度。

2025 年，公司将紧密围绕投资者需求，结合行业特性，对信息披露内容进行优化，以确保高质量地推进信息披露相关工作。同时，公司将继续通过股东会、投资者邮箱、上证 e 互动平台、投资者热线等多种渠道，加强与投资者的双向沟通交流。此外，公司还将继续常态化地召开业绩说明会，并积极参与由上海证券交易所、上市公司协会等组织的集体活动，以便投资者能够更全面地了解公司所
处的行业环境、竞争格局、经营业绩及战略规划等信息，从而进一步促进公司与投资者之间建立长期、稳定的信赖关系。

四、坚持规范运作，持续提升治理水平

公司严格按照《上海证券交易所股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》等法律法规、规范性文件的相关规定和要求，不断建立健全内部控制体系和各项管理……
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